| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 图目录 | 第13-16页 |
| 表目录 | 第16-17页 |
| 主要符号表 | 第17-18页 |
| 1 绪论 | 第18-46页 |
| 1.1 生物芯片技术概述 | 第18-19页 |
| 1.2 微流控芯片技术概述 | 第19-21页 |
| 1.3 应用于微流控芯片的光学检测技术概述 | 第21-37页 |
| 1.3.1 表面等离子体共振检测技术 | 第22-25页 |
| 1.3.2 光学微谐振环检测技术 | 第25-26页 |
| 1.3.3 光栅光纤检测技术 | 第26-27页 |
| 1.3.4 光子晶体检测技术 | 第27-28页 |
| 1.3.5 法布里-珀罗光学谐振腔检测技术 | 第28-37页 |
| 1.4 应用于微流控芯片的纳米器件检测技术概述 | 第37-44页 |
| 1.4.1 纳米器件简介 | 第37-38页 |
| 1.4.2 纳米线场效应管检测技术 | 第38-42页 |
| 1.4.3 纳米线场效应管的载流子迁移率 | 第42-44页 |
| 1.5 本文主要研究思路 | 第44-46页 |
| 2 折射率与纳米线生物传感器的建模与参数计算方法 | 第46-62页 |
| 2.1 引言 | 第46页 |
| 2.2 法布里-珀罗光学谐振腔的设计模型 | 第46-53页 |
| 2.2.1 光线的反射与透射-斯托克斯关系式 | 第46-47页 |
| 2.2.2 单反射层的法布里-珀罗光学谐振腔设计模型 | 第47-49页 |
| 2.2.3 多反射的法布里-珀罗光学谐振腔设计模型 | 第49-53页 |
| 2.3 生物传感器中重要参数的计算方法 | 第53-60页 |
| 2.3.1 灵敏度的计算 | 第54-56页 |
| 2.3.2 品质因数Q的计算 | 第56页 |
| 2.3.3 检测限的计算 | 第56-57页 |
| 2.3.4 系统噪声 | 第57-59页 |
| 2.3.5 谱线位移最小分辨率的计算 | 第59-60页 |
| 2.4 纳米线场效应管中重要参数的计算方法 | 第60-61页 |
| 2.4.1 纳米线场效应管电子迁移率的计算 | 第60-61页 |
| 2.5 本章小结 | 第61-62页 |
| 3 单法布里-珀罗光学谐振腔生物传感器的设计与实现 | 第62-85页 |
| 3.1 传感器的总体设计 | 第62-63页 |
| 3.2 传感器的加工工艺 | 第63-72页 |
| 3.2.1 传感器的总体工艺步骤 | 第63-64页 |
| 3.2.2 SOI衬底的设计与加工 | 第64-69页 |
| 3.2.3 微流槽与谐振腔的腐蚀加工 | 第69-70页 |
| 3.2.4 光学谐振腔的镀膜与键合 | 第70-72页 |
| 3.3 光学谐振腔制备结果的表征 | 第72-79页 |
| 3.3.1 谐振腔反射镜光滑度的表征 | 第72-76页 |
| 3.3.2 谐振腔反射镜间的平行度的表征 | 第76-79页 |
| 3.4 器件的测试 | 第79-84页 |
| 3.4.1 测试环境与溶液配制 | 第79-81页 |
| 3.4.2 实验结果 | 第81-83页 |
| 3.4.3 性能参数计算 | 第83-84页 |
| 3.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 4 差分法布里-珀罗光学谐振腔生物传感器的设计与实现 | 第85-99页 |
| 4.1 传感器的总体设计 | 第85-86页 |
| 4.2 传感器的加工工艺 | 第86-88页 |
| 4.3 差分法布里-珀罗光学谐振腔传感器的检测原理 | 第88-93页 |
| 4.4 器件的测试 | 第93-97页 |
| 4.5 本章小结 | 第97-99页 |
| 5 纳米线场效应管的设计与实现 | 第99-131页 |
| 5.1 纳米线场效应管的总体设计 | 第99-101页 |
| 5.2 锥形InAs/InP纳米线的生长 | 第101-107页 |
| 5.2.1 锥形InAs/InP芯包层纳米线的生长流程 | 第101-105页 |
| 5.2.2 锥形InAs/InP芯包层纳米线的表征 | 第105-107页 |
| 5.3 纳米线的排列与器件的制作 | 第107-113页 |
| 5.4 纳米线场效应管的测试与结果分析 | 第113-129页 |
| 5.4.1 纳米线场效应管的测试 | 第113-116页 |
| 5.4.2 纳米线场效应管电子迁移率的计算 | 第116-118页 |
| 5.4.3 器件的高电子迁移率分析 | 第118-122页 |
| 5.4.4 纳米线器件二极管特性分析 | 第122-129页 |
| 5.5 本章小结 | 第129-131页 |
| 6 结论与展望 | 第131-134页 |
| 6.1 结论 | 第131-132页 |
| 6.2 创新点摘要 | 第132-133页 |
| 6.3 展望 | 第133-134页 |
| 参考文献 | 第134-141页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第141-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
| 作者简介 | 第143页 |
