基于PLC的半导体洁净室空调控制系统的设计与应用
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第10-12页 |
| 1.3 论文背景及研究的意义 | 第12-14页 |
| 2 洁净室建造结构及空调系统的构成 | 第14-22页 |
| 2.1 洁净室分类 | 第14-15页 |
| 2.2 空气洁净度等级划分 | 第15页 |
| 2.3 洁净室空调系统 | 第15-22页 |
| 2.3.1 新风系统 | 第16-19页 |
| 2.3.2 排风系统 | 第19-20页 |
| 2.3.3 冷热源水系统 | 第20-22页 |
| 3 洁净室空调系统的控制策略 | 第22-41页 |
| 3.1 温湿度相关背景知识 | 第22-24页 |
| 3.1.1 湿空气 | 第22页 |
| 3.1.2 干球温度与湿球温度 | 第22-23页 |
| 3.1.3 绝对湿度与相对湿度 | 第23页 |
| 3.1.4 含湿量 | 第23页 |
| 3.1.5 露点温度 | 第23页 |
| 3.1.6 焓 | 第23-24页 |
| 3.1.7 焓湿图 | 第24页 |
| 3.2 新风空调机组湿空气处理的基本热力学过程 | 第24-25页 |
| 3.2.1 等湿加热 | 第24-25页 |
| 3.2.2 等焓加湿 | 第25页 |
| 3.2.3 降温除湿 | 第25页 |
| 3.3 湿度控制 | 第25-31页 |
| 3.3.1 温湿度解耦 | 第25页 |
| 3.3.2 湿度控制分区 | 第25-27页 |
| 3.3.3 露点控制及空气处理过程 | 第27-31页 |
| 3.4 温度控制 | 第31-33页 |
| 3.5 压差控制 | 第33-34页 |
| 3.6 新风空调机组群控策略 | 第34-36页 |
| 3.7 PID控制 | 第36-41页 |
| 3.7.1 PID控制器 | 第36-37页 |
| 3.7.2 PID参数整定 | 第37-39页 |
| 3.7.3 数字式PID控制算法 | 第39-40页 |
| 3.7.4 串级控制 | 第40-41页 |
| 4 PLC控制系统设计 | 第41-70页 |
| 4.1 PLC发展及特点 | 第41-42页 |
| 4.2 PLC控制系统硬件设计 | 第42-49页 |
| 4.2.1 ControlLogix系统简介 | 第42页 |
| 4.2.2 硬件设备选型 | 第42-49页 |
| 4.3 硬件规划组态 | 第49-57页 |
| 4.3.1 PLC冗余机架配置 | 第49-50页 |
| 4.3.2 ControlNet网络结构 | 第50-52页 |
| 4.3.3 远程I/O组态 | 第52-53页 |
| 4.3.4 变频器组态 | 第53-55页 |
| 4.3.5 ControlNet网络规划 | 第55-57页 |
| 4.4 程序设计 | 第57-70页 |
| 4.4.1 程序结构 | 第57-58页 |
| 4.4.2 任务及中断设置 | 第58-59页 |
| 4.4.3 编程方式 | 第59页 |
| 4.4.4 程序功能 | 第59-61页 |
| 4.4.5 数据结构 | 第61-63页 |
| 4.4.6 用户自定义指令 | 第63-68页 |
| 4.4.7 Peer to Peer网络通信 | 第68-70页 |
| 5 上位机系统设计 | 第70-87页 |
| 5.1 FMCS系统功能简介 | 第70-71页 |
| 5.2 上位机网络架构 | 第71-73页 |
| 5.3 Cimplicity 8.2简介 | 第73页 |
| 5.4 OPC通信技术 | 第73-75页 |
| 5.5 上位机项目包配置 | 第75-80页 |
| 5.5.1 冗余服务器配置 | 第75-76页 |
| 5.5.2 通讯设置 | 第76-78页 |
| 5.5.3 上位机点配置 | 第78-79页 |
| 5.5.4 操作权限配置 | 第79-80页 |
| 5.6 画面编辑 | 第80-81页 |
| 5.7 报警配置 | 第81-83页 |
| 5.8 数据存储 | 第83-85页 |
| 5.9 短信报警系统 | 第85-87页 |
| 6 现场运行效果 | 第87-90页 |
| 结论 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
