| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 氧化锌基本性质 | 第8-10页 |
| 1.2 氧化锌制备方法 | 第10-12页 |
| 1.3 氧化锌的研究进展 | 第12-13页 |
| 1.4 氧化锌薄膜的应用 | 第13-14页 |
| 1.5 本论文主要工作 | 第14-16页 |
| 第2章 氧化物薄膜的制备设备与表征方法 | 第16-20页 |
| 2.1 氧化物薄膜的制备设备 | 第16-17页 |
| 2.2 氧化物薄膜的表征方法 | 第17-20页 |
| 2.2.1 X射线衍射仪（XRD） | 第17-18页 |
| 2.2.2 扫描电子显微镜（SEM） | 第18页 |
| 2.2.3 紫外可见分光光度计(UV-Vis spectrophotometer) | 第18-19页 |
| 2.2.4 拉曼光谱仪 | 第19页 |
| 2.2.5 椭偏仪 | 第19-20页 |
| 第3章 磁控溅射法制备ZnO薄膜 | 第20-26页 |
| 3.1 实验过程 | 第20-21页 |
| 3.1.1 衬底清洗 | 第20页 |
| 3.1.2 射频磁控溅射法制备ZnO薄膜 | 第20-21页 |
| 3.2 实验结果分析 | 第21-25页 |
| 3.2.1 氧气流量对ZnO薄膜的影响 | 第21-23页 |
| 3.2.2 衬底温度对ZnO薄膜的影响 | 第23-25页 |
| 3.3 本章小结 | 第25-26页 |
| 第4章 退火温度对ZnO薄膜性质的影响 | 第26-32页 |
| 4.1 实验过程 | 第26-27页 |
| 4.2 实验结果分析 | 第27-31页 |
| 4.2.1 退火温度对ZnO薄膜结构的影响 | 第27-28页 |
| 4.2.2 退火温度对ZnO薄膜表面形貌的影响 | 第28-29页 |
| 4.2.3 退火温度对ZnO薄膜折射率的影响 | 第29-31页 |
| 4.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第5章 退火温度对掺锡氧化锌薄膜性质的影响 | 第32-40页 |
| 5.1 实验过程 | 第32-33页 |
| 5.2 实验结果分析 | 第33-37页 |
| 5.2.1 退火温度对掺锡氧化锌薄膜结构的影响 | 第33-34页 |
| 5.2.2 退火温度对掺锡氧化锌薄膜拉曼光谱的影响 | 第34-35页 |
| 5.2.3 退火温度对掺锡氧化锌薄膜透射谱的影响 | 第35-36页 |
| 5.2.4 退火温度对掺锡氧化锌薄膜表面形貌的影响 | 第36-37页 |
| 5.3 本章小结 | 第37-40页 |
| 结论 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-46页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利 | 第46-48页 |
| 致谢 | 第48页 |
