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氧化锌薄膜的制备与性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 绪论第8-16页
    1.1 氧化锌基本性质第8-10页
    1.2 氧化锌制备方法第10-12页
    1.3 氧化锌的研究进展第12-13页
    1.4 氧化锌薄膜的应用第13-14页
    1.5 本论文主要工作第14-16页
第2章 氧化物薄膜的制备设备与表征方法第16-20页
    2.1 氧化物薄膜的制备设备第16-17页
    2.2 氧化物薄膜的表征方法第17-20页
        2.2.1 X射线衍射仪(XRD)第17-18页
        2.2.2 扫描电子显微镜(SEM)第18页
        2.2.3 紫外可见分光光度计(UV-Vis spectrophotometer)第18-19页
        2.2.4 拉曼光谱仪第19页
        2.2.5 椭偏仪第19-20页
第3章 磁控溅射法制备ZnO薄膜第20-26页
    3.1 实验过程第20-21页
        3.1.1 衬底清洗第20页
        3.1.2 射频磁控溅射法制备ZnO薄膜第20-21页
    3.2 实验结果分析第21-25页
        3.2.1 氧气流量对ZnO薄膜的影响第21-23页
        3.2.2 衬底温度对ZnO薄膜的影响第23-25页
    3.3 本章小结第25-26页
第4章 退火温度对ZnO薄膜性质的影响第26-32页
    4.1 实验过程第26-27页
    4.2 实验结果分析第27-31页
        4.2.1 退火温度对ZnO薄膜结构的影响第27-28页
        4.2.2 退火温度对ZnO薄膜表面形貌的影响第28-29页
        4.2.3 退火温度对ZnO薄膜折射率的影响第29-31页
    4.3 本章小结第31-32页
第5章 退火温度对掺锡氧化锌薄膜性质的影响第32-40页
    5.1 实验过程第32-33页
    5.2 实验结果分析第33-37页
        5.2.1 退火温度对掺锡氧化锌薄膜结构的影响第33-34页
        5.2.2 退火温度对掺锡氧化锌薄膜拉曼光谱的影响第34-35页
        5.2.3 退火温度对掺锡氧化锌薄膜透射谱的影响第35-36页
        5.2.4 退火温度对掺锡氧化锌薄膜表面形貌的影响第36-37页
    5.3 本章小结第37-40页
结论第40-42页
参考文献第42-46页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及专利第46-48页
致谢第48页

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