基于MOCVD外延腔体温度控制策略的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第12-16页 |
| 1.1 MOCVD生长技术的简要概述 | 第12页 |
| 1.2 本课题研究的背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.3 国内外研究现状和发展趋势 | 第14-15页 |
| 1.4 本课题研究的主要内容 | 第15-16页 |
| 2 MOCVD温度控制系统 | 第16-22页 |
| 2.1 MOCVD系统的组成 | 第16-18页 |
| 2.2 MOCVD温度控制系统硬件组成 | 第18-19页 |
| 2.3 MOCVD温度控制系统的工作方式 | 第19-20页 |
| 2.4 MOCVD温度控制系统的工作特点 | 第20页 |
| 2.5 本章小结 | 第20-22页 |
| 3 MOCVD温度控制系统建模 | 第22-32页 |
| 3.1 系统辨识原理 | 第22-23页 |
| 3.2 系统辨识方法 | 第23-26页 |
| 3.3 系统模型建立 | 第26-31页 |
| 3.3.1 系统实验设计 | 第26-28页 |
| 3.3.2 系统模型辨识 | 第28-29页 |
| 3.3.3 系统参数估计 | 第29页 |
| 3.3.4 验证模型 | 第29-31页 |
| 3.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 4 基于MOCVD外延腔体温度控制策略的研究 | 第32-50页 |
| 4.1 基于增量式PID控制策略的研究 | 第32-39页 |
| 4.1.1 PID控制原理 | 第32-33页 |
| 4.1.2 增量式PID控制器的仿真与小结 | 第33-36页 |
| 4.1.3 积分分离式PID | 第36-37页 |
| 4.1.4 变速积分式PID | 第37-38页 |
| 4.1.5 改进式PID控制器的仿真与小结 | 第38-39页 |
| 4.2 基于模糊—PID控制策略的研究 | 第39-50页 |
| 4.2.1 模糊控制原理 | 第40页 |
| 4.2.2 模糊控制器设计 | 第40-43页 |
| 4.2.3 模糊—PID控制原理 | 第43-47页 |
| 4.2.4 系统仿真与小结 | 第47-50页 |
| 5 基于Smith预估器控制策略优化的研究 | 第50-56页 |
| 5.1 Smith预估控制概述 | 第50-51页 |
| 5.2 变速积分式PID+Smith方法 | 第51-52页 |
| 5.3 模糊自适应PID+Smith方法 | 第52-55页 |
| 5.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 6 总结和展望 | 第56-58页 |
| 6.1 总结 | 第56-57页 |
| 6.2 展望未来 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-64页 |
| 作者简介及读研期间主要科研成果 | 第64页 |
