基于柔性微电极阵列的人工皮肤关键技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·研究意义 | 第8-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·柔性压力传感器 | 第10页 |
| ·柔性触觉传感器 | 第10-11页 |
| ·柔性可拉伸传感器 | 第11-15页 |
| 第2章 柔性可拉伸微电极的制备 | 第15-33页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·实验材料及设备 | 第15-20页 |
| ·聚二甲基硅氧烷及其性能参数 | 第16-18页 |
| ·磁控溅射镀膜系统及其工作原理 | 第18-20页 |
| ·柔性基底制备 | 第20-23页 |
| ·柔性基底制备过程 | 第20-21页 |
| ·柔性基底制备的影响因素 | 第21-23页 |
| ·柔性基底上金薄膜的制备 | 第23-27页 |
| ·MEMS技术 | 第23-24页 |
| ·金薄膜制备工艺 | 第24-26页 |
| ·影响因素 | 第26-27页 |
| ·金薄膜的微观形貌与性能研究 | 第27-32页 |
| ·金薄膜形貌的表征 | 第27-29页 |
| ·金薄膜形貌的性能研究 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 柔性可拉伸微电极的封装与测试 | 第33-43页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·柔性可拉伸微电极封装 | 第33-37页 |
| ·切割和边缘处理 | 第34页 |
| ·旋涂绝缘层 | 第34-35页 |
| ·引出导线 | 第35-36页 |
| ·封装屏蔽 | 第36-37页 |
| ·柔性可拉伸微电极的基本指标 | 第37页 |
| ·柔性可拉伸微电极的性能测试 | 第37-42页 |
| ·动态测试系统的建立 | 第37-39页 |
| ·基本性能测试 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 基于等效电阻网络模型的电阻特性分析 | 第43-54页 |
| ·引言 | 第43页 |
| ·柔性可拉伸微电极的电阻变化V.S.应变原理 | 第43-44页 |
| ·等效电阻网络模型的建立 | 第44-50页 |
| ·柔性可拉伸微电极实验与分析 | 第50-53页 |
| ·柔性可拉伸微电极的标定验证 | 第50-52页 |
| ·误差分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第5章 总结与展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士期间参与的项目和申请的专利 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
