| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1. 引言 | 第9-20页 |
| ·研究背景 | 第9-11页 |
| ·GaN材料的研制 | 第9-11页 |
| ·GaN基器件的优势 | 第11页 |
| ·AlGaN/GaN异质结 | 第11-17页 |
| ·AlGaN/GaN基本结构和原理 | 第11-13页 |
| ·AlGaN/GaN极化效应 | 第13-15页 |
| ·阈值电压 | 第15-16页 |
| ·跨导 | 第16-17页 |
| ·AlGaN/GaN器件的关键问题和目前主要研究现状 | 第17-19页 |
| ·AlGaN/GaN器件面临的问题 | 第17-18页 |
| ·国内外研究现状 | 第18-19页 |
| ·本文研究内容与安排 | 第19页 |
| ·本章小结 | 第19-20页 |
| 2. AlGaN/GaN HFET生物传感器的研制和测试 | 第20-46页 |
| ·AlGaN/GaN HFET生物传感器 | 第20页 |
| ·AlGaN/GaN HFET生物传感器原理分析 | 第20-28页 |
| ·生物分子膜的组装方法 | 第21-24页 |
| ·生物传感器的检测机理 | 第24-27页 |
| ·生物传感器工作原理 | 第27-28页 |
| ·AlGaN/GaN HFET生物传感器的制备 | 第28-38页 |
| ·基片准备 | 第28-29页 |
| ·版图说明 | 第29-30页 |
| ·工艺流程 | 第30-38页 |
| ·AlGaN/GaN HFET生物传感器的流片结果 | 第38-40页 |
| ·AlGaN/GaN HFET生物传感器的直流特性 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 3. 增强型AlGaN/GaN HFET器件研究与应用 | 第46-65页 |
| ·增强型AlGaN/GaN HFET器件 | 第46-48页 |
| ·增强型AlGaN/GaN HFET器件的制备 | 第48-55页 |
| ·基片准备 | 第48-49页 |
| ·版图说明 | 第49-50页 |
| ·工艺流程 | 第50-55页 |
| ·增强型AlGaN/GaN HFET的流片结果 | 第55-56页 |
| ·增强型AlGaN/GaN HFET的直流特性 | 第56-59页 |
| ·增强型AlGaN/GaN HFET的应用 | 第59-64页 |
| ·GaN反相器的研究 | 第59-61页 |
| ·GaN环振电路研究 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
