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硅及氮化镓基半导体功能器件新结构和工艺研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-9页
1. 引言第9-20页
   ·研究背景第9-11页
     ·GaN材料的研制第9-11页
     ·GaN基器件的优势第11页
   ·AlGaN/GaN异质结第11-17页
     ·AlGaN/GaN基本结构和原理第11-13页
     ·AlGaN/GaN极化效应第13-15页
     ·阈值电压第15-16页
     ·跨导第16-17页
   ·AlGaN/GaN器件的关键问题和目前主要研究现状第17-19页
     ·AlGaN/GaN器件面临的问题第17-18页
     ·国内外研究现状第18-19页
   ·本文研究内容与安排第19页
   ·本章小结第19-20页
2. AlGaN/GaN HFET生物传感器的研制和测试第20-46页
   ·AlGaN/GaN HFET生物传感器第20页
   ·AlGaN/GaN HFET生物传感器原理分析第20-28页
     ·生物分子膜的组装方法第21-24页
     ·生物传感器的检测机理第24-27页
     ·生物传感器工作原理第27-28页
   ·AlGaN/GaN HFET生物传感器的制备第28-38页
     ·基片准备第28-29页
     ·版图说明第29-30页
     ·工艺流程第30-38页
   ·AlGaN/GaN HFET生物传感器的流片结果第38-40页
   ·AlGaN/GaN HFET生物传感器的直流特性第40-45页
   ·本章小结第45-46页
3. 增强型AlGaN/GaN HFET器件研究与应用第46-65页
   ·增强型AlGaN/GaN HFET器件第46-48页
   ·增强型AlGaN/GaN HFET器件的制备第48-55页
     ·基片准备第48-49页
     ·版图说明第49-50页
     ·工艺流程第50-55页
   ·增强型AlGaN/GaN HFET的流片结果第55-56页
   ·增强型AlGaN/GaN HFET的直流特性第56-59页
   ·增强型AlGaN/GaN HFET的应用第59-64页
     ·GaN反相器的研究第59-61页
     ·GaN环振电路研究第61-64页
   ·本章小结第64-65页
结论第65-67页
参考文献第67-70页
申请学位期间的研究成果及发表的学术论文第70-71页
致谢第71页

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