1Cr10Co3MoWVNbNB耐热钢表面CrN/ZrN涂层的制备与表征
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·叶片的工作环境与防护 | 第11-17页 |
| ·超超临界汽轮机简介 | 第11-13页 |
| ·叶片的工作环境 | 第13-14页 |
| ·叶片防护技术进展 | 第14-17页 |
| ·涂层制备技术进展 | 第17-19页 |
| ·硬质涂层简介与进展 | 第19-22页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 实验材料与测试方法 | 第23-33页 |
| ·材料预处理 | 第23页 |
| ·CrN/ZrN 涂层设计与制备 | 第23-29页 |
| ·溅射镀膜原理与设备 | 第23-25页 |
| ·涂层设计 | 第25-27页 |
| ·工艺参数的选取 | 第27页 |
| ·CrN/ZrN 涂层的制备 | 第27-29页 |
| ·涂层结构特征测试 | 第29-30页 |
| ·形貌观察与成分分析 | 第29页 |
| ·厚度测试 | 第29页 |
| ·相组成分析 | 第29页 |
| ·表面粗糙度测试 | 第29-30页 |
| ·涂层力学性能测试 | 第30-31页 |
| ·硬度和弹性模量测试 | 第30页 |
| ·膜基结合力测试 | 第30-31页 |
| ·涂层耐磨性测试 | 第31页 |
| ·涂层耐蚀性测试 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 CrN/ZrN 涂层结构和力学性能研究 | 第33-59页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·溅射功率对涂层结构和力学性能的影响 | 第33-40页 |
| ·溅射功率对涂层结构的影响 | 第33-37页 |
| ·溅射功率对涂层力学性能的影响 | 第37-40页 |
| ·偏压对涂层结构和力学性能的影响 | 第40-46页 |
| ·偏压对涂层结构的影响 | 第40-43页 |
| ·偏压对涂层力学性能的影响 | 第43-46页 |
| ·N_2流量对涂层结构和力学性能的影响 | 第46-51页 |
| ·N_2流量对涂层结构的影响 | 第46-49页 |
| ·N_2流量对涂层力学性能的影响 | 第49-51页 |
| ·基体温度对涂层结构和力学性能的影响 | 第51-56页 |
| ·基体温度对涂层结构的影响 | 第51-55页 |
| ·基体温度对涂层力学性能的影响 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-59页 |
| 第4章 CrN/ZrN 涂层耐磨性与耐蚀性研究 | 第59-71页 |
| ·引言 | 第59-60页 |
| ·CrN/ZrN 涂层耐磨性分析 | 第60-68页 |
| ·溅射功率对涂层耐磨性的影响 | 第60-63页 |
| ·偏压对涂层耐磨性的影响 | 第63-64页 |
| ·N_2流量对涂层耐磨性的影响 | 第64-66页 |
| ·基体温度对涂层耐磨性的影响 | 第66-68页 |
| ·CrN/ZrN 涂层耐蚀性分析 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 等离子渗氮后磁控溅射涂层 | 第71-81页 |
| ·引言 | 第71-72页 |
| ·等离子渗氮设备与材料 | 第72-73页 |
| ·等离子渗氮工艺设计 | 第73-74页 |
| ·渗氮层相结构与性能分析 | 第74-76页 |
| ·温度对渗氮层相结构与性能影响 | 第74-75页 |
| ·氮氢比对渗氮层相结构与性能的影响 | 第75-76页 |
| ·渗氮后磁控溅射 | 第76-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
