| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·纳米材料的特性 | 第11-12页 |
| ·小尺寸效应 | 第11页 |
| ·表面效应 | 第11-12页 |
| ·量子尺寸效应 | 第12页 |
| ·宏观量子隧道效应 | 第12页 |
| ·一维硅纳米线的特性及应用 | 第12-19页 |
| ·机械特性及应用 | 第12-13页 |
| ·电学特性及应用 | 第13-14页 |
| ·光学特性及应用 | 第14-16页 |
| ·生化传感特性及应用 | 第16-18页 |
| ·热电特性及应用 | 第18-19页 |
| ·一维硅纳米线的制备方法 | 第19-24页 |
| ·高温化学气相沉积 | 第19-20页 |
| ·低温化学气相沉积 | 第20页 |
| ·分子束外延 | 第20-21页 |
| ·激光烧蚀法 | 第21-22页 |
| ·物理刻蚀法 | 第22页 |
| ·金属辅助的化学刻蚀法 | 第22-24页 |
| ·本论文的主要工作 | 第24-25页 |
| 第二章 一维硅纳米结构电子输运性质研究 | 第25-41页 |
| ·仿真软件介绍 | 第25-26页 |
| ·一维硅纳米结构的电子输运仿真 | 第26-39页 |
| ·硅纳米线横截面及能带结构 | 第26页 |
| ·硅纳米线两电极模型 | 第26-29页 |
| ·有限长硅纳米线两电极系统电子输运仿真 | 第29-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 金属辅助化学刻蚀法制备一维硅纳米结构 | 第41-55页 |
| ·一维硅纳米结构的制备过程 | 第41-43页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第41页 |
| ·硅片清洗 | 第41-42页 |
| ·刻蚀液HF/AgNO_3的制备 | 第42页 |
| ·一维硅纳米结构的刻蚀 | 第42-43页 |
| ·金属辅助化学刻蚀—维硅纳米结构的表面形貌及分析 | 第43-53页 |
| ·0.02 mol/L AgNO_3与10% HF构成的刻蚀液 | 第43-46页 |
| ·0.03 mol/L AgNO_3与15% HF组成的刻蚀液 | 第46-48页 |
| ·0.035 mol/L AgNO_3与20% HF组成的刻蚀液 | 第48-50页 |
| ·其他刻蚀条件下制备的硅纳米结构 | 第50-53页 |
| ·硅纳米线阵列的形成机理分析 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 一维硅纳米结构的亲疏水性及拉曼光谱性研究 | 第55-71页 |
| ·一维硅纳米结构的亲疏水性研究 | 第55-58页 |
| ·一维硅纳米结构的拉曼光谱光研究 | 第58-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 硅纳米线场效应晶体管的生物传感器研究 | 第71-79页 |
| ·场效应晶体管生物传感器研究背景 | 第71-73页 |
| ·硅纳米线场效应晶体管生物传感器 | 第73-75页 |
| ·硅纳米线场效应晶体管检测原理 | 第73-74页 |
| ·硅纳米线场效应晶体管加工方法 | 第74-75页 |
| ·硅纳米线场效应晶体管生物传感器工艺流程设计 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第六章 总结与展望 | 第79-81页 |
| ·本文的主要研究工作 | 第79-80页 |
| ·进一步的研究方向 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-89页 |
| 致谢 | 第89-91页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第91页 |
| 获批项目 | 第91页 |
