微电子器件界面结构传热与力学行为多尺度研究
| 摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-24页 |
| 第一章 绪论 | 第24-34页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第24-26页 |
| ·课题来源 | 第24页 |
| ·课题背景及意义 | 第24-26页 |
| ·国内外研究现状 | 第26-32页 |
| ·微/纳电子器件热可靠性研究现状 | 第26-28页 |
| ·多尺度分析国内外研究现状 | 第28-32页 |
| ·论文主要研究内容 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第二章 界面结构热力学特性数值及实验表征技术 | 第34-44页 |
| ·界面结构特征数值表征技术 | 第34-37页 |
| ·微/纳尺度数值表征 | 第35-36页 |
| ·多尺度数值表征 | 第36-37页 |
| ·界面结构特性实验表征技术 | 第37-42页 |
| ·热物理性实验表征 | 第37-40页 |
| ·力学特性实验表征 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 界面结构多尺度建模研究 | 第44-68页 |
| ·界面定义 | 第44页 |
| ·界面多尺度模型 | 第44-61页 |
| ·原子尺度下的多尺度模型 | 第45-51页 |
| ·微/宏观尺度下多尺度模型 | 第51-57页 |
| ·跨原子-连续介质力学的多尺度模型 | 第57-61页 |
| ·一维力学多尺度分析 | 第61-65页 |
| ·一维传热多尺度分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 界面结构热力学特性多尺度数值研究 | 第68-88页 |
| ·界面传热的尺寸效应 | 第68-69页 |
| ·界面结构传热及力学特性研究 | 第69-80页 |
| ·界面温度 | 第69页 |
| ·界面厚度 | 第69-71页 |
| ·界面热阻及热导率 | 第71-72页 |
| ·声子电子传热 | 第72-78页 |
| ·界面结合特性 | 第78-80页 |
| ·引线键合界面变形与破坏多尺度分析 | 第80-83页 |
| ·非金属界面传热特性研究 | 第83-86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第五章 界面结构传热特性实验研究 | 第88-102页 |
| ·基于磁控溅射法的样品制备 | 第88-91页 |
| ·衬底清洗 | 第90-91页 |
| ·薄膜制备 | 第91页 |
| ·非接触式厚度测量 | 第91-95页 |
| ·薄膜生长速率 | 第95-97页 |
| ·基于传输线理论及遗传算法的界面热导率提取 | 第97-99页 |
| ·金属界面结构传热特性 | 第99页 |
| ·非金属界面结构传热特性 | 第99-101页 |
| ·本章小结 | 第101-102页 |
| 第六章 界面结构力学特性实验研究 | 第102-110页 |
| ·纳米压痕技术 | 第102-103页 |
| ·界面结构的力学特性分析 | 第103-109页 |
| ·本章小结 | 第109-110页 |
| 第七章 总结与展望 | 第110-114页 |
| ·全文总结 | 第110-112页 |
| ·未来展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-130页 |
| 致谢 | 第130-132页 |
| 攻读博士期间的的研究成果、科研项目及荣誉 | 第132-134页 |
