相位光栅干涉触针式传感器系统的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-15页
·课题来源	第8页
·目的与意义	第8页
·表面形貌测量概述	第8-13页
·本文主要研究内容	第13-15页
2 相位光栅干涉触针式传感器系统原理与总体设计	第15-20页
·相位光栅干涉触针式传感器原理	第15-19页
·相位光栅干涉触针式传感器系统总体设计	第19页
·本章小结	第19-20页
3 相位光栅干涉触针式传感器设计	第20-39页
·传感器机械结构及光路设计	第20-26页
·光电探头设计	第26-30页
·信号处理电路设计	第30-38页
·模拟信号调理电路设计	第31-33页
·干涉条纹计辨向计数电路设计	第33-38页
·本章小结	第38-39页
4 PCI 专用数据采集卡设计	第39-56页
·PCI 专用数据采集卡硬件设计	第39-45页
·PCI 专用数据采集卡时序设计	第45-51页
·PCI 专用数据采集卡驱动开发及调试	第51-55页
·本章小结	第55-56页
5 传感器非线性误差分析与动态补偿模型	第56-62页
·非线性误差分析与动态补偿模型	第56-58页
·补偿模型验证	第58-60页
·本章小结	第60-62页
6 实验与误差分析	第62-69页
·传感器系统与测试实验	第62-66页
·误差分析	第66-68页
·本章小结	第68-69页
7 总结与展望	第69-71页
·全文总结	第69页
·工作展望	第69-71页
致谢	第71-72页
参考文献	第72-75页
附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文	第75页