薄膜X射线测厚仪的设计和软件开发
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·测厚仪研究背景和发展现状 | 第13-20页 |
| ·涡流式测厚仪 | 第13-14页 |
| ·超声波测厚仪 | 第14-15页 |
| ·电磁感应测厚仪 | 第15-16页 |
| ·激光测厚仪 | 第16-17页 |
| ·同位素测厚仪 | 第17-18页 |
| ·红外线测厚仪 | 第18-19页 |
| ·X射线测厚仪 | 第19-20页 |
| ·本课题的意义 | 第20页 |
| ·本论文主要完成的工作 | 第20-23页 |
| 第二章 薄膜测厚仪原理及设计 | 第23-41页 |
| ·薄膜生产线的工艺介绍 | 第23-24页 |
| ·测厚仪工作原理 | 第24-25页 |
| ·测厚仪总体设计方案 | 第25-35页 |
| ·探头 | 第26-30页 |
| ·模拟量采集设计 | 第30-31页 |
| ·主控制单元设计 | 第31-33页 |
| ·伺服系统选型设计 | 第33-35页 |
| ·通讯方式的实现 | 第35-36页 |
| ·操作终端的设计 | 第36-40页 |
| ·操作终端的选型 | 第36-37页 |
| ·操作终端的功能设计 | 第37-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第三章 控制对象的辩识与整定 | 第41-53页 |
| ·控制对象的辩识 | 第41-45页 |
| ·辩识对象介绍 | 第41页 |
| ·薄膜测厚系统的辨识的实施 | 第41-44页 |
| ·薄膜测厚系统的辨识结果 | 第44-45页 |
| ·控制参数的整定 | 第45-53页 |
| ·控制方案的设计 | 第45页 |
| ·实施控制方案的关键技术 | 第45-49页 |
| ·控制方案的实施 | 第49-53页 |
| 第四章 上位机软件设计 | 第53-63页 |
| ·上位机监控软件的简介 | 第53-54页 |
| ·监控软件的功能设计 | 第54-61页 |
| ·主监控界面 | 第54-55页 |
| ·系统配置 | 第55-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 第五章 ActiveX控件和数据库开发 | 第63-79页 |
| ·ActiveX开发 | 第63-67页 |
| ·ActiveX组件分类 | 第63-64页 |
| ·ActiveX组件开发介绍 | 第64-65页 |
| ·数据处理组件的开发 | 第65-67页 |
| ·数据库设计 | 第67-77页 |
| ·MySQL简介 | 第67页 |
| ·MySQL配置 | 第67-70页 |
| ·MySQL数据库操作 | 第70-73页 |
| ·数据库操作优化 | 第73-75页 |
| ·事务处理 | 第75-76页 |
| ·数据库维护 | 第76-77页 |
| ·小结 | 第77-79页 |
| 第六章 性能分析与总结 | 第79-81页 |
| ·性能分析 | 第79页 |
| ·总结 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第87-89页 |
| 作者和导师简介 | 第89-90页 |
| 硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第90-91页 |
