精密电位计线性度自动修刻台的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题背景及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外发展状况 | 第9-11页 |
| ·本课题主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第2章 测量修刻的基本原理及其方案拟定 | 第12-21页 |
| ·基本概念 | 第12-13页 |
| ·线性度 | 第12-13页 |
| ·灵敏度 | 第13页 |
| ·线性最小二乘法评定电位计灵敏度 | 第13-15页 |
| ·测量修刻方案的拟定 | 第15-17页 |
| ·测量方法的选择 | 第15-16页 |
| ·修刻方法的选择 | 第16-17页 |
| ·修刻算法的推导 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 测量修刻系统的总体设计 | 第21-27页 |
| ·总体设计 | 第21-22页 |
| ·测量修刻台硬件的选择及性能 | 第22-25页 |
| ·精密X-Y工作台 | 第22-23页 |
| ·Keithley2000 型数字万用表 | 第23页 |
| ·修刻头零部件的选用 | 第23-24页 |
| ·步进电机及其驱动器 | 第24-25页 |
| ·测量头及其安装机构的设计 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第4章 测量修刻软件设计 | 第27-34页 |
| ·软件的总体设计 | 第27页 |
| ·数据采集程序的设计 | 第27-30页 |
| ·串口的初始化 | 第28-29页 |
| ·初始化Keithley2000 数字万用表 | 第29页 |
| ·读取Keithley2000 数字万用表数据 | 第29-30页 |
| ·步进电机及其工作台调速控制程序的设计 | 第30页 |
| ·数据处理程序的设计 | 第30-31页 |
| ·修刻加工程序的设计 | 第31-33页 |
| ·测量显示功能程序的设计 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第5章 系统实验分析 | 第34-38页 |
| ·系统测量的精密度实验和准确度分析 | 第34-35页 |
| ·修刻前后非线性误差分析 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 结论 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-43页 |
| 附录 | 第43-44页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第44页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第44页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第44-45页 |
| 致谢 | 第45页 |
