纳米级微表面干涉形貌检测仪的功能扩展和数据处理
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| ·微表面三维形貌检测的测量方法 | 第10-12页 |
| ·微表面三维形貌检测的非光学测量方法 | 第10-11页 |
| ·微表面三维形貌检测的光学测量方法 | 第11-12页 |
| ·微形貌检测仪中信息处理和相位检测的研究和发展 | 第12-15页 |
| ·Fourier 变换法 | 第12-13页 |
| ·空间相位检测法 | 第13页 |
| ·相移法 | 第13-14页 |
| ·扫描白光干涉法 | 第14页 |
| ·单步相移 | 第14-15页 |
| ·国内外的形貌检测仪的发展现状 | 第15-16页 |
| ·国内外子孔径拼接大视场测量的发展现状 | 第16-17页 |
| ·本文的主要研究工作和各章主要内容 | 第17-19页 |
| 第二章 干涉仪测试原理及整体设计方案 | 第19-29页 |
| ·相移干涉法的基本原理 | 第20-25页 |
| ·相位提取算法 | 第22-24页 |
| ·相位解包裹原理 | 第24-25页 |
| ·相移干涉仪的总体设计方案 | 第25-28页 |
| ·光学干涉成像部分 | 第26-27页 |
| ·图像采集部分 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 干涉图像预处理 | 第29-39页 |
| ·图像噪声的基本概念 | 第29-30页 |
| ·图像去噪的方法 | 第30-34页 |
| ·均值滤波 | 第30-31页 |
| ·中值滤波 | 第31-32页 |
| ·频域滤波 | 第32页 |
| ·自适应滤波 | 第32-34页 |
| ·各种图像去噪方法的结果分析 | 第34-36页 |
| ·本文所采用的方法 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 干涉仪三维扫描系统的硬件实现 | 第39-48页 |
| ·拼接测量的原理和误差 | 第39-40页 |
| ·被测面的二维扫描系统 | 第40-44页 |
| ·电动平移台 | 第40页 |
| ·驱动电机 | 第40-41页 |
| ·步进电机控制器 | 第41-43页 |
| ·电控平移系统的精确位移 | 第43-44页 |
| ·压电陶瓷微位移系统 | 第44-47页 |
| ·微位移活动平台 | 第46-47页 |
| ·压电陶瓷驱动电源 | 第47页 |
| ·控制器 | 第47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 干涉仪图像拼接的软件实现 | 第48-64页 |
| ·图像拼接的原理 | 第48-57页 |
| ·图像采集 | 第49-50页 |
| ·几何变换及几何变形校正 | 第50-54页 |
| ·图像配准 | 第54-56页 |
| ·图像合并及接缝消除 | 第56-57页 |
| ·本文提出的拼接算法 | 第57-62页 |
| ·仪器所采用的成像设备 | 第57-58页 |
| ·仪器所采用的拼接算法 | 第58-61页 |
| ·拼接结果图 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 系统软件设计 | 第64-76页 |
| ·软件的开发环境与整体设计 | 第64-67页 |
| ·软件模块开发 | 第67-69页 |
| ·干涉图像采集模块 | 第67页 |
| ·位移控制模块 | 第67-68页 |
| ·扫描控制模块 | 第68页 |
| ·数据处理模块 | 第68-69页 |
| ·数据输出模块 | 第69-74页 |
| ·干涉图像的显示 | 第69-70页 |
| ·图像拼接模块 | 第70页 |
| ·形貌恢复后图像的显示 | 第70-74页 |
| ·实验结果 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第七章 总结与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间的科研成果与发表的学术论文 | 第82-83页 |
| 发表论文情况 | 第82页 |
| 参加的科研项目 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
