| 中文摘要 | 第1页 |
| 英文摘要 | 第3-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-9页 |
| ·选题背景和意义 | 第6页 |
| ·谐振式微机械压力传感器概述 | 第6-7页 |
| ·谐振式微机械压力传感器检测电路研究现状 | 第7-8页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第8-9页 |
| 第二章 谐振式微机械压力传感器振动和检测的理论分析 | 第9-14页 |
| ·电磁激励固支梁的固有频率和振型 | 第9-11页 |
| ·轴向力作用下的横向振动方程 | 第11-12页 |
| ·谐振式微机械压力传感器的结构及检测原理 | 第12-13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第三章 谐振式微机械压力传感器闭环检测电路的设计与实现 | 第14-36页 |
| ·闭环激励电路的设计与实现 | 第14-21页 |
| ·闭环激励电路的结构设计 | 第14-16页 |
| ·基于锁相环的闭环激励电路 | 第14-15页 |
| ·基于限幅的闭环激励电路 | 第15-16页 |
| ·两种方案的比较 | 第16页 |
| ·微弱信号放大模块 | 第16-17页 |
| ·移相器和限幅电路 | 第17-20页 |
| ·实际的闭环激励电路 | 第20-21页 |
| ·差频检测电路的设计与实现 | 第21-27页 |
| ·差频电路 | 第21-24页 |
| ·低通滤波电路 | 第24页 |
| ·频压转换电路 | 第24-27页 |
| ·谐振式微机械压力传感器整体工作电路 | 第27-29页 |
| ·谐振式微机械压力传感器测试结果 | 第29-35页 |
| ·谐振式微机械压力传感器频率特性测试 | 第29-30页 |
| ·谐振式微机械压力传感器非线性振动特性测试 | 第30-32页 |
| ·谐振式微机械压力传感器压力特性测试 | 第32-33页 |
| ·谐振式微机械压力传感器频率稳定性测试 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 谐振式微机械压力传感器同频干扰的消除与温度补偿 | 第36-45页 |
| ·谐振式微机械压力传感器向频干扰的分析与消除 | 第36-41页 |
| ·集成运算放大器的噪声及减小噪声的措施 | 第36-37页 |
| ·同频干扰噪声的建模 | 第37-38页 |
| ·同频干扰的消除 | 第38-40页 |
| ·双端对称差分激励 | 第38-39页 |
| ·双端不对称激励 | 第39-40页 |
| ·实验结果与讨论 | 第40-41页 |
| ·谐振式微机械压力传感器的温度补偿 | 第41-44页 |
| ·谐振式微机械压力传感器温度特性分析 | 第41-42页 |
| ·谐振式微机械压力传感器的温度补偿 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第五章 总结 | 第45-47页 |
| ·工作总结 | 第45页 |
| ·未来工作展望 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 在校期间发表的学术论文和参加科研情况 | 第50页 |
