| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·纳米技术研究内容 | 第7页 |
| ·扫描隧道显微镜及其原理 | 第7-10页 |
| ·纳米级传感技术 | 第10-15页 |
| ·本课题研究的内容和意义 | 第15-17页 |
| 第二章 纳米级传感系统整体设计 | 第17-31页 |
| ·微检测装置 | 第17-21页 |
| ·微位移机构的设计 | 第21-26页 |
| ·反馈控制电路的设计 | 第26-31页 |
| 第三章 微位移机构的设计和安装 | 第31-55页 |
| ·柔性铰链结构的对比与选择 | 第31-34页 |
| ·六连杆柔性铰链结构的分析 | 第34-45页 |
| ·柔性铰链结构几何参数的优化设计 | 第45-49页 |
| ·六连杆柔性铰链结构的材料选择 | 第49-51页 |
| ·微位移机构及探针夹持器的设计安装 | 第51-55页 |
| 第四章 实验及数据处理 | 第55-72页 |
| ·压电陶瓷及微位移机构标定试验 | 第55-68页 |
| ·纳米级传感系统的搭建与调试 | 第68-72页 |
| 第五章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-77页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78页 |