| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 概述 | 第9-12页 |
| ·本课题的研究意义及背景 | 第9页 |
| ·课题来源 | 第9-10页 |
| ·本课题的国内研究现状 | 第10-11页 |
| ·工业标准J-STD-033 中推荐的半导体器件的烘焙时间/温度 | 第10页 |
| ·烘箱控制无特色 | 第10-11页 |
| ·本课题涉及的主要研究内容 | 第11页 |
| ·本章小结 | 第11-12页 |
| 第二章 闪存的生产工艺及湿气进入分析 | 第12-14页 |
| ·闪存的生产工艺及结构简介 | 第12-13页 |
| ·封装工艺中引入湿气造成半导体失效的分析 | 第13页 |
| ·本章小结 | 第13-14页 |
| 第三章 烘焙时间与温度的优化实验 | 第14-19页 |
| ·实验样本选择 | 第14-16页 |
| ·实验设计 | 第16页 |
| ·实验过程 | 第16-17页 |
| ·试验中需记录的参数 | 第17页 |
| ·实验设备 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 第四章 实验数据分析 | 第19-35页 |
| ·数据记录表格设计 | 第19-20页 |
| ·数据分析 | 第20-23页 |
| ·超声波扫描声学显微镜检测 | 第23-28页 |
| ·确认实验 | 第28-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第五章 有限元在实验中的应用 | 第35-44页 |
| ·有限元介绍 | 第35-36页 |
| ·有限元分析软件 | 第36-39页 |
| ·ANSYS 软件的质量认证 | 第39页 |
| ·有限元分析 | 第39-43页 |
| ·有限元模型的构建 | 第39-41页 |
| ·实体建模 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第六章 控制系统的要求和总体设计 | 第44-50页 |
| ·控制系统的基本要求 | 第44-45页 |
| ·OSS(Oven Scan System)系统设定与操作 | 第45-49页 |
| ·烘箱非正常失温与超温报警系统 | 第49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第七章 总结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 实验数据(附录1) | 第54-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第61-63页 |