| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 引言 | 第9-11页 |
| 1.2 气体传感器概述 | 第11-15页 |
| 1.2.1 气体传感器的发展历史 | 第11页 |
| 1.2.2 气体传感器的分类 | 第11-13页 |
| 1.2.3 基于MOS纳米材料气体传感器结构 | 第13-14页 |
| 1.2.4 半导体型气敏传感器的性能指标 | 第14-15页 |
| 1.3 MOS型气体传感器的研究现状和面临的问题 | 第15-17页 |
| 1.3.1 基于MOS气体传感器的研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3.2 MOS气体传感器目前面临的问题 | 第17页 |
| 1.4 p型NiO材料的简介及应用 | 第17-18页 |
| 1.5 本论文设计思想和研究内容 | 第18-20页 |
| 第二章 MOS气体传感器气敏模型与理论分析 | 第20-33页 |
| 2.1 气敏工作原理 | 第20-23页 |
| 2.2 晶粒间的载流子输运模型 | 第23-25页 |
| 2.3 基于MOS气体传感器导电模型 | 第25-32页 |
| 2.3.1 n型材料的导电模型 | 第25-27页 |
| 2.3.2 p型材料的导电模型 | 第27-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 纳米NiO基传感器的制备及其气敏性能研究 | 第33-47页 |
| 3.1 电化学沉积法花状结构NiO纳米材料制备 | 第33-35页 |
| 3.2 纳米材料的表征分析 | 第35-37页 |
| 3.2.1 X射线衍射（XRD）分析 | 第35-36页 |
| 3.2.2 电子显微技术（SEM）&（TEM）结构分析 | 第36-37页 |
| 3.3 气体传感器件的制备 | 第37-38页 |
| 3.4 器件气敏特性测试 | 第38-45页 |
| 3.4.1 传感器气敏特性测试原理 | 第38-39页 |
| 3.4.2 传感器件最佳工作温度研究 | 第39-40页 |
| 3.4.3 花状结构NiO纳米材料传感器对甲醛气体的气敏特性 | 第40-42页 |
| 3.4.4 花状结构NiO纳米材料传感器对乙醇气体的气敏特性 | 第42-45页 |
| 3.5 基于花状结构NiO纳米材料传感器气敏机理分析 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 水热法NiO纳米材料的制备及表面修饰 | 第47-57页 |
| 4.1 纳米材料的合成 | 第47-49页 |
| 4.1.1 Ag纳米微球的制备 | 第47-48页 |
| 4.1.2 水热法制备NiO纳米材料及表面修饰 | 第48-49页 |
| 4.2 纳米材料表征及分析 | 第49-50页 |
| 4.2.1 X射线衍射（XRD）分析 | 第49页 |
| 4.2.2 扫描电子显微镜(SEM)形貌表征 | 第49-50页 |
| 4.3 气敏传感器件的制备 | 第50-51页 |
| 4.4 传感器性能测试与研究 | 第51-56页 |
| 4.4.1 电流密度-电压（I-V）和温度-电阻（T-R）特性测试 | 第51页 |
| 4.4.2 传感器最佳工作温度研究 | 第51-52页 |
| 4.4.3 传感器对还原性气体甲醛和乙醇的气敏特性 | 第52-55页 |
| 4.4.4 Ag纳米微球表面修饰NiO基气体传感器气敏机理分析 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 纳米NiO-ZnO异型异质结传感器的气敏性研究 | 第57-68页 |
| 5.1 纳米材料的制备 | 第57-59页 |
| 5.1.1 生物还原法ZnO纳米材料的制备 | 第57-58页 |
| 5.1.2 NiO-ZnO异型异质结复合材料的制备 | 第58-59页 |
| 5.2 纳米材料表征与分析 | 第59-60页 |
| 5.2.1 X射线衍射（XRD）分析 | 第59页 |
| 5.2.2 扫描电子显微镜(SEM)形貌表征 | 第59-60页 |
| 5.3 传感器件制造与伏安特性测试 | 第60-61页 |
| 5.4 基于NiO-ZnO复合材料传感器气敏特性的研究 | 第61-67页 |
| 5.4.1 传感器最佳工作温度的研究 | 第61-62页 |
| 5.4.2 传感器对还原性气体甲醛和乙醇气敏特性 | 第62-66页 |
| 5.4.3 异型异质结传感器气敏机理分析 | 第66-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 6.1 主要结果与结论 | 第68页 |
| 6.2 工作展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 在学期间的研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
