| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| 1.1 引言 | 第7-8页 |
| 1.2 容栅式位移传感器工作原理 | 第8-11页 |
| 1.3 课题的选择 | 第11-12页 |
| 第二章 容栅式位移传感器检测单元制作方法 | 第12-22页 |
| 2.1 容栅式位移传感器检测单元工艺原理 | 第12-17页 |
| 2.1.1 薄膜生长 | 第12-14页 |
| 2.1.2 光刻 | 第14-16页 |
| 2.1.3 刻蚀 | 第16-17页 |
| 2.2 本论文工作所用到的实验设备 | 第17-22页 |
| 第三章 容栅式位移传感器检测单元镀膜工艺及图形工艺的研究与改进 | 第22-33页 |
| 3.1 玻璃基片的清洗 | 第22-23页 |
| 3.2 基片架的设计 | 第23-26页 |
| 3.3 加热镀膜 | 第26-29页 |
| 3.4 图形工艺的研究与改进 | 第29-31页 |
| 3.5 合格率检测 | 第31-33页 |
| 第四章 总结 | 第33-34页 |
| 参考文献 | 第34-36页 |
| 致谢 | 第36页 |