| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 微结构功能表面研究现状 | 第12-13页 |
| 1.2.2 三维检测方式现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 三维匹配技术的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.4 微结构功能表面评价的现状 | 第15-16页 |
| 1.3 课题主要研究内容 | 第16-17页 |
| 1.4 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 微磨削锥塔阵列结构 Si 表面的加工工艺 | 第18-27页 |
| 2.1 金刚石砂轮 V 形尖端的数控对磨修整方法 | 第18-22页 |
| 2.1.1 实验设备的选用 | 第18-19页 |
| 2.1.2 金刚石砂轮的选用 | 第19-20页 |
| 2.1.3 金刚石砂轮 V 形尖端的修整 | 第20-22页 |
| 2.2 微磨削锥塔阵列结构表面的加工 | 第22-26页 |
| 2.3 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 微磨削锥塔阵列结构表面的自适应方向检测方法 | 第27-33页 |
| 3.1 白光干涉仪 | 第27-29页 |
| 3.1.1 白光干涉原理 | 第27-28页 |
| 3.1.2 检测试验所用白光干涉仪 | 第28-29页 |
| 3.2 微锥塔阵列结构表面自适应方向检测方法 | 第29-32页 |
| 3.3 本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 较大尺寸微锥塔结构的检测与加工精度评价 | 第33-51页 |
| 4.1 微锥塔阵列结构的白光干涉检测 | 第33-34页 |
| 4.1.1 微锥塔阵列结构表面的扫描电镜检测 | 第33-34页 |
| 4.1.2 微锥塔阵列结构表面的白光干涉检测 | 第34页 |
| 4.2 白光干涉检测数据处理 | 第34-42页 |
| 4.2.1 白光干涉检测原始数据处理 | 第34-37页 |
| 4.2.2 微锥塔阵列结构表面的匹配方法 | 第37-41页 |
| 4.2.3 检测数据精处理 | 第41-42页 |
| 4.3 微锥塔阵列结构表面加工精度评价 | 第42-49页 |
| 4.3.1 微锥塔阵列结构表面的重构 | 第42-43页 |
| 4.3.2 微锥塔阵列结构表面的加工精度评价 | 第43-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第五章 小尺寸微锥塔结构的检测与加工精度评价 | 第51-76页 |
| 5.1 工件 | 第51-62页 |
| 5.1.1 工件 | 第51-52页 |
| 5.1.2 自适应方向检测数据拼接 | 第52-57页 |
| 5.1.3 微锥塔结构边界识别 | 第57-59页 |
| 5.1.4 微锥塔结构加工精度评价 | 第59-62页 |
| 5.2 工件 | 第62-71页 |
| 5.2.1 工件 | 第62-67页 |
| 5.2.2 工件 | 第67-69页 |
| 5.2.3 工件 | 第69-71页 |
| 5.3 自适应方向白光干涉检测方法适用情况 | 第71-74页 |
| 5.3.1 形状误差与轮廓误差 | 第72-73页 |
| 5.3.2 误差比率 | 第73-74页 |
| 5.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 结论与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 附件 | 第85页 |