| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 选择性吸收涂层 | 第8-17页 |
| 1.1 引言 | 第8-10页 |
| 1.2 选择性吸收涂层 | 第10-13页 |
| 1.2.1 选择性吸收涂层概况 | 第10-11页 |
| 1.2.2 选择性吸收涂层类型 | 第11-12页 |
| 1.2.3 选择性吸收涂层制备 | 第12-13页 |
| 1.3 减反射涂层的原理及设计 | 第13-15页 |
| 1.4 本论文研究目的及内容 | 第15-17页 |
| 第二章 Ti/Ti-DLC/DLC 金属陶瓷复合光谱选择性吸收涂层 | 第17-35页 |
| 2.1 引言 | 第17-19页 |
| 2.2 DLC 减反射薄膜的 PECVD 制备及性能 | 第19-25页 |
| 2.2.1 薄膜制备 | 第19-20页 |
| 2.2.2 薄膜性能表征 | 第20-25页 |
| 2.3 Ti/Ti-DLC/DLC 金属陶瓷复合光谱选择性吸收涂层 | 第25-33页 |
| 2.3.1 薄膜制备 | 第25-27页 |
| 2.3.2 薄膜性能表征 | 第27-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 Al/Ti-AlN/AlN 金属陶瓷复合光谱选择性吸收涂层 | 第35-45页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 AlN 金属陶瓷减反射膜 | 第36-38页 |
| 3.2.1 薄膜制备 | 第36页 |
| 3.2.2 薄膜表征 | 第36-38页 |
| 3.3 Al/Ti-AlN/AlN 金属陶瓷复合光谱选择性吸收涂层 | 第38-44页 |
| 3.3.1 薄膜制备 | 第38-39页 |
| 3.3.2 薄膜性能表征 | 第39-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第51页 |
