| 中文摘要. | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 文献综述 | 第9-25页 |
| 1.1 活塞式氢压机的轴密封形式 | 第9-13页 |
| 1.1.1 迷宫密封 | 第10页 |
| 1.1.2 浮环油膜密封 | 第10页 |
| 1.1.3 机械密封 | 第10页 |
| 1.1.4 干气密封 | 第10-11页 |
| 1.1.5 填料密封 | 第11-13页 |
| 1.2 活塞式氢压机填料密封泄露原因 | 第13-16页 |
| 1.2.1 活塞杆填料构造 | 第13-15页 |
| 1.2.2 活塞杆填料密封泄露原因分析 | 第15-16页 |
| 1.3 富氢气体中氢气的回收 | 第16-19页 |
| 1.3.1 低温分离法 | 第16页 |
| 1.3.2 膜分离法 | 第16页 |
| 1.3.3 变压吸附（PSA）法 | 第16-17页 |
| 1.3.4 常见回收方法的现状和对比 | 第17-19页 |
| 1.4 变压吸附技术 | 第19-22页 |
| 1.4.1 基本原理 | 第19-20页 |
| 1.4.2 基本步骤 | 第20-21页 |
| 1.4.3 常见吸附剂 | 第21-22页 |
| 1.5 本课题的意义和研究内容 | 第22-25页 |
| 1.5.1 课题的意义 | 第22-23页 |
| 1.5.2 课题需要解决的问题 | 第23-25页 |
| 第2章 填料尾气的组分分析和吸附研究 | 第25-51页 |
| 2.1 氢压机填料尾气组分分析 | 第25-27页 |
| 2.1.1 分析仪器 | 第25-26页 |
| 2.1.2 组分分析 | 第26-27页 |
| 2.2 填料尾气各组分吸附研究试验方法 | 第27-29页 |
| 2.2.1 主要实验材料 | 第27-28页 |
| 2.2.2 实验装置与实验设备 | 第28-29页 |
| 2.3 实验原理 | 第29页 |
| 2.4 实验过程 | 第29-30页 |
| 2.4.1 分子筛的活化 | 第29页 |
| 2.4.2 实验步骤 | 第29-30页 |
| 2.5 实验数据处理和分析 | 第30-46页 |
| 2.5.1 相平衡结果 | 第30-36页 |
| 2.5.2 相同组分在不同吸附剂上的相平衡结果 | 第36-43页 |
| 2.5.3 不同组分在相同吸附剂上的相平衡结果 | 第43-46页 |
| 2.6 主要组分的吸附速率研究 | 第46-49页 |
| 2.7 本章小结 | 第49-51页 |
| 第3章 填料尾气组分解吸研究 | 第51-57页 |
| 3.1 实验方法 | 第51页 |
| 3.2 实验原理 | 第51页 |
| 3.3 实验步骤 | 第51-52页 |
| 3.4 实验结果与分析 | 第52-54页 |
| 3.4.1 氯硅烷、N2在高比表活性炭上的解吸速率 | 第52-53页 |
| 3.4.2 氯硅烷、N2在 5A分子筛上的解吸速率 | 第53-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-57页 |
| 第4章 变压吸附法回收氢气 | 第57-71页 |
| 4.1 PSA法回收氢气的工艺流程 | 第57-62页 |
| 4.1.1 工艺流程 | 第57-58页 |
| 4.1.2 工作步骤 | 第58-62页 |
| 4.2 最优化操作 | 第62-65页 |
| 4.2.1 吸附过程 | 第62-64页 |
| 4.2.2 解吸再生过程 | 第64-65页 |
| 4.3 经济与环境效益分析 | 第65-68页 |
| 4.3.1 经济效益分析 | 第65-66页 |
| 4.3.2 环境效益分析 | 第66-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-71页 |
| 第5章 结论与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 结论 | 第71页 |
| 5.2 展望 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 附录 | 第77-79页 |
| 文中公式的符号和单位说明 | 第77-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |