| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 微加速度计的工作原理及加工工艺 | 第16-29页 |
| 2.1 微加速度计的工作原理与模型 | 第16-21页 |
| 2.1.1 微加速度计的工作原理 | 第16-19页 |
| 2.1.2 开环微加速度计的数学模型 | 第19-21页 |
| 2.2 硅微机械加工技术简介 | 第21-23页 |
| 2.2.1 表面加工技术 | 第22-23页 |
| 2.2.2 体硅加工技术 | 第23页 |
| 2.3 微加速度计工艺流程及关键工艺 | 第23-28页 |
| 2.3.1 浓硼掺杂 | 第24-25页 |
| 2.3.2 深反应离子刻蚀（DRIE） | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 硼掺杂工艺及DRIE工艺对微加速度计的影响 | 第29-43页 |
| 3.1 硼掺杂对结构材料性能的影响 | 第30-32页 |
| 3.2 翘曲理论模型 | 第32-35页 |
| 3.3 翘曲变形对极板电容的影响 | 第35-37页 |
| 3.4 DRIE工艺误差对折叠梁刚度的影响 | 第37-40页 |
| 3.4.1 多层梁等效刚度模型 | 第37-39页 |
| 3.4.2 折叠梁有误差时刚度计算 | 第39-40页 |
| 3.5 硼掺杂和DRIE工艺共同作用产生的质量块平移位移 | 第40-42页 |
| 3.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 叉指电容仿真和计算 | 第43-57页 |
| 4.1 有限元简介 | 第43-44页 |
| 4.2 叉指式加速度计仿真模型建立 | 第44-45页 |
| 4.3 只考虑硼扩散 | 第45-48页 |
| 4.3.1 翘曲变形 | 第46-47页 |
| 4.3.2 叉指电容仿真 | 第47-48页 |
| 4.4 掺杂和梁误差共同作用 | 第48-55页 |
| 4.4.1 质量块平移 | 第48-50页 |
| 4.4.2 叉指电容仿真 | 第50-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第五章 叉指式微加速度计性能指标 | 第57-65页 |
| 5.1 静电刚度 | 第57-60页 |
| 5.2 灵敏度 | 第60-64页 |
| 5.3 零位 | 第64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 6.1 本文总结 | 第65-66页 |
| 6.2 展望 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第72-73页 |