| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 课题来源、意义 | 第15-16页 |
| 1.2 气浮支承技术研究概述 | 第16-19页 |
| 1.2.1 气浮支承技术研究历史 | 第16-17页 |
| 1.2.2 静压气浮支承性能研究 | 第17-19页 |
| 1.3 气浮传输系统简介 | 第19页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 毛细管节流支承单元数学模型 | 第21-31页 |
| 2.1 节流器选择 | 第21-23页 |
| 2.2 润滑气体特性及相关定律 | 第23-25页 |
| 2.2.1 理想气体定律 | 第23页 |
| 2.2.2 粘性及内摩擦定律 | 第23-24页 |
| 2.2.3 可压缩性 | 第24-25页 |
| 2.3 润滑气体流动特性及控制方程 | 第25-27页 |
| 2.3.1 层流与湍流 | 第25-26页 |
| 2.3.2 气体通过毛细管的流动 | 第26页 |
| 2.3.3 流动控制方程 | 第26-27页 |
| 2.4 毛细管节流单元数学模型建立 | 第27-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 气浮支承单元仿真与优化 | 第31-53页 |
| 3.1 Fluent仿真流程简介 | 第31-32页 |
| 3.2 气浮支承单元模型建立 | 第32-33页 |
| 3.3 Fluent加载与初始化 | 第33-37页 |
| 3.3.1 模型初始化设置 | 第34-36页 |
| 3.3.2 迭代计算与收敛 | 第36-37页 |
| 3.4 气浮支承单元模型仿真分析 | 第37-47页 |
| 3.4.1 毛细管半径R_c的影响 | 第38-40页 |
| 3.4.2 气膜厚度h的影响 | 第40-42页 |
| 3.4.3 供气压力P_0的影响 | 第42-43页 |
| 3.4.4 气膜边长a的影响 | 第43-45页 |
| 3.4.5 毛细管长度L_C的影响 | 第45-47页 |
| 3.5 气浮支承单元模型优化 | 第47-52页 |
| 3.6 优化结论 | 第52页 |
| 3.7 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 气浮板仿真及结构优化设计 | 第53-67页 |
| 4.1 气浮板支承流场模型建立 | 第53-57页 |
| 4.1.1 模型尺寸确定 | 第53页 |
| 4.1.2 模型简化与建立 | 第53-54页 |
| 4.1.3 网格划分 | 第54-57页 |
| 4.2 通孔阵列排布对气浮支承的影响 | 第57-63页 |
| 4.2.1 常见通孔阵列排布方式 | 第57-58页 |
| 4.2.2 通孔阵列不同排布方式对气膜压力、速度分布的影响 | 第58-62页 |
| 4.2.3 通孔阵列不同排布方式对气膜质量流量的影响 | 第62-63页 |
| 4.2.4 结论 | 第63页 |
| 4.3 气浮板结构优化设计 | 第63-65页 |
| 4.4 液晶显示屏自动检测仪器气浮支承系统样机检测 | 第65-67页 |
| 第五章 总结与展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第72页 |
