基于AlN薄膜的声表面波谐振器设计方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第8-12页 |
| 1.2.1 声表面波技术 | 第8-9页 |
| 1.2.2 国内外研究现状 | 第9-12页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第12页 |
| 1.4 本章小结 | 第12-13页 |
| 第二章 谐振器的基本原理 | 第13-21页 |
| 2.1 谐振器的类型 | 第13-17页 |
| 2.1.1 压电陶瓷谐振器 | 第13-15页 |
| 2.1.2 石英晶体谐振器 | 第15-17页 |
| 2.2 声表面波谐振器基本原理 | 第17-19页 |
| 2.3 本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 声表面波谐振器的结构 | 第21-34页 |
| 3.1 声表面波谐振器的基本结构 | 第21-25页 |
| 3.2 声表面波谐振器的核心—IDT | 第25-28页 |
| 3.2.1 叉指换能器的工作原理 | 第26-27页 |
| 3.2.2 叉指换能器参数之间关系 | 第27-28页 |
| 3.3 压电材料 | 第28-31页 |
| 3.3.1 压电材料的种类及特性 | 第28-29页 |
| 3.3.2 压电效应 | 第29-30页 |
| 3.3.3 氮化铝（AlN）压电薄膜 | 第30-31页 |
| 3.4 谐振器的基本参数 | 第31-32页 |
| 3.4.1 电容比γ | 第31页 |
| 3.4.2 谐振质量因子Q_r | 第31-32页 |
| 3.4.3 中心频率f_0 | 第32页 |
| 3.4.4 插入损耗IL | 第32页 |
| 3.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第四章 声表面波谐振器的设计与仿真 | 第34-58页 |
| 4.1 声表面波谐振器的建模 | 第34-38页 |
| 4.1.1 改进型? 函数模型 | 第34-38页 |
| 4.1.2 声表面波谐振器的? 函数模型 | 第38页 |
| 4.2 声表面波谐振器的设计 | 第38-44页 |
| 4.2.1 叉指换能器的设计 | 第38-39页 |
| 4.2.2 反射栅的设计 | 第39-42页 |
| 4.2.3 IDT与反射栅之间的距离设计 | 第42-43页 |
| 4.2.4 谐振腔长度的计算 | 第43-44页 |
| 4.3 声表面波谐振器设计模型 | 第44-45页 |
| 4.4 声表面波谐振器的仿真 | 第45-57页 |
| 4.4.1 仿真实现方法 | 第45-46页 |
| 4.4.2 仿真模型 | 第46-48页 |
| 4.4.3 仿真分析 | 第48-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-61页 |
| 5.1 研究工作总结 | 第58-59页 |
| 5.2 研究展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录 | 第65-66页 |
