| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 本课题的目的与意义 | 第9-10页 |
| 1.2 大量程表面触针轮廓仪的发展状况 | 第10-12页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第12-13页 |
| 1.4 课题来源 | 第13-14页 |
| 2 触针式轮廓测量传感器的误差分析 | 第14-24页 |
| 2.1 触针式传感器的结构及原理 | 第14-15页 |
| 2.2 迈克尔逊干涉测长原理 | 第15-17页 |
| 2.3 触针式轮廓测量传感器的误差分析 | 第17-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 非线性误差的补偿方法 | 第24-38页 |
| 3.1 传统非线性误差的补偿方法 | 第24-25页 |
| 3.2 垂直微位移工作台的结构设计 | 第25-27页 |
| 3.3 非线性误差补偿方法 | 第27-33页 |
| 3.4 触针式轮廓测量传感器初始零位的确定 | 第33-35页 |
| 3.5 激光光源的选择 | 第35-36页 |
| 3.6 干涉信号处理电路 | 第36-37页 |
| 3.7 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 基于 C++Builder 的用户程序界面设计 | 第38-43页 |
| 4.1 C++ Builder 程序开发平台 | 第38页 |
| 4.2 基于 C++ Builder 的用户应用程序开发 | 第38-42页 |
| 4.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 轮廓拟合数学模型及应用实验 | 第43-61页 |
| 5.1 最小二乘拟合 | 第43-48页 |
| 5.2 工作台精度测试实验 | 第48-51页 |
| 5.3 传感器误差校正实验 | 第51-53页 |
| 5.4 传感器精度测试实验 | 第53-60页 |
| 5.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 6 全文总结与展望 | 第61-63页 |
| 6.1 全文总结 | 第61页 |
| 6.2 今后工作的展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附录Ⅰ攻读硕士学位期间发表的论文和专利 | 第68页 |