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In组分及温度对InGaN合金拉曼声子模影响及基于嵌段共聚物模板的GaN量子点生长

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-23页
    §1.1 Ⅲ族氮化物半导体发展历史简介第10-14页
    §1.2 Ⅲ族氮化物发展前沿及热点问题第14-16页
        §1.2.1 InN及InGaN合金材料研究第14-15页
        §1.2.2 Ⅲ-Ⅴ族半导体量子点有源层生长与研究第15-16页
    §1.3 Ⅲ族氮化物的MOCVD生长第16-18页
    §1.4 研究内容及论文结构第18-20页
    参考文献第20-23页
第二章 InGaN合金薄膜拉曼光谱研究第23-39页
    §2.1 引言第23页
    §2.2 InGaN合金的MOCVD生长第23-24页
    §2.3 InGaN合金In组分的测定第24-26页
    §2.4 In_xGa_(1-x)N合金拉曼散射声子模式研究第26-35页
        §2.4.1 常温下In组分对InGaN合金拉曼声子模式影响第31-33页
        §2.4.2 变温下In组分对InGaN合金拉曼声子模式影响第33-35页
    §2.5 本章总结第35-37页
    参考文献第37-39页
第三章 基于嵌段共聚物光刻法衬底的GaN量子点有源层生长及研究第39-52页
    §3.1 引言第39-40页
    §3.2 基于嵌段共聚物光刻方法衬底模板的制备第40-41页
    §3.3 基于嵌段共聚物光刻模板的GaN量子点生长第41-43页
    §3.4 基于嵌段共聚物光刻方法模板生长得到的GaN量子点结果第43-49页
    §3.5 本章小结第49-51页
    参考文献第51-52页
结论与总结第52-53页
硕士期间发表论文及参加学术会议第53-54页
致谢第54-55页

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