光学曲面在位测量关键技术研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| 1.1 课题概述 | 第11-12页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第11页 |
| 1.1.2 研究背景与意义 | 第11-12页 |
| 1.2 光学曲面测量技术发展现状 | 第12-20页 |
| 1.3 曲线曲面重构技术研究现状 | 第20-26页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第26-27页 |
| 第2章 光学曲面在位测量系统开发 | 第27-43页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 接触式在位测量原理 | 第27-29页 |
| 2.3 在位测量系统平台搭建 | 第29-35页 |
| 2.3.1 超精密气浮直线导轨 | 第30-31页 |
| 2.3.2 超精密空气轴承旋转台 | 第31页 |
| 2.3.3 SP150 电主轴 | 第31-32页 |
| 2.3.4 气动伺服抛光工具系统 | 第32-33页 |
| 2.3.5 精密光学三维调整架 | 第33-34页 |
| 2.3.6 LM50 激光干涉仪 | 第34-35页 |
| 2.4 在位测量系统软件开发 | 第35-41页 |
| 2.4.1 控制系统总体方案规划 | 第36-37页 |
| 2.4.2 A3200 运动控制器 | 第37-38页 |
| 2.4.3 LM50 激光干涉仪运动控制 | 第38-40页 |
| 2.4.4 在位测量控制软件开发 | 第40-41页 |
| 2.5 本章小结 | 第41-43页 |
| 第3章 在位测量系统的误差分析与标定 | 第43-59页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 测量系统的误差分类 | 第43-44页 |
| 3.3 在位测量系统误差分析与标定 | 第44-53页 |
| 3.3.1 测头垂直校正误差 | 第45-46页 |
| 3.3.2 基地顶点对心误差 | 第46-47页 |
| 3.3.3 测头曲率半径误差 | 第47-48页 |
| 3.3.4 气浮平台定位误差 | 第48-51页 |
| 3.3.5 气浮平台直线度误差 | 第51-53页 |
| 3.4 在位测量随机误差分析与标定 | 第53-57页 |
| 3.4.1 LM50 单点重复测量误差 | 第53-55页 |
| 3.4.2 气浮平台重复定位误差 | 第55-57页 |
| 3.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第4章 曲线曲面重构算法研究 | 第59-77页 |
| 4.1 引言 | 第59页 |
| 4.2 EIV 模型 | 第59-60页 |
| 4.3 移动最小二乘法 | 第60-61页 |
| 4.4 移动总体最小二乘法 | 第61-63页 |
| 4.5 适应性移动总体最小二乘法 | 第63-69页 |
| 4.5.1 振荡曲线 AMTLS 拟合 | 第65-67页 |
| 4.5.2 非球面母线 AMTLS 拟合 | 第67-68页 |
| 4.5.3 柱面廓线 AMTLS 拟合 | 第68-69页 |
| 4.6 改进的移动最小二乘法 | 第69-74页 |
| 4.6.1 振荡曲线 IMLS 拟合 | 第70-71页 |
| 4.6.2 非球面母线 IMLS 拟合 | 第71-72页 |
| 4.6.3 曲面 IMLS 拟合 | 第72-74页 |
| 4.7 支持域半径的选择 | 第74-76页 |
| 4.8 本章小结 | 第76-77页 |
| 第5章 光学曲面在位测量实验研究 | 第77-99页 |
| 5.1 引言 | 第77页 |
| 5.2 测量轨迹规划 | 第77-81页 |
| 5.2.1 线测量轨迹规划 | 第78-79页 |
| 5.2.2 面测量轨迹规划 | 第79-81页 |
| 5.3 球面母线在位测量 | 第81-90页 |
| 5.3.1 测头垂直校正 | 第81-84页 |
| 5.3.2 基地顶点对心 | 第84-85页 |
| 5.3.3 球面母线测量 | 第85-90页 |
| 5.4 离轴三反镜面在位测量 | 第90-96页 |
| 5.4.1 测头对心 | 第90-91页 |
| 5.4.2 三反镜面放射型测量 | 第91-93页 |
| 5.4.3 三反镜面均匀布点测量 | 第93-96页 |
| 5.5 本章小结 | 第96-99页 |
| 第6章 结论 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-111页 |
| 攻读博士学位期间发表和撰写的学术论文 | 第111-113页 |
| 攻读博士学位期间参与的主要科研项目 | 第113-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
