冲击载荷下MEMS微加速度计的结构可靠性研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 注释表 | 第10-11页 |
| 缩略词 | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 选题背景 | 第12-13页 |
| 1.2 MEMS可靠性的重要意义 | 第13-16页 |
| 1.3 研究概述 | 第16-19页 |
| 1.3.1 国外研究概述 | 第16-18页 |
| 1.3.2 国内研究概述 | 第18-19页 |
| 1.4 论文结构编排 | 第19-22页 |
| 第二章 MEMS微加速度计 | 第22-32页 |
| 2.1 微观效应 | 第22-25页 |
| 2.1.1 表面作用 | 第23-24页 |
| 2.1.2 尺度效应 | 第24-25页 |
| 2.2 微加速度计 | 第25-28页 |
| 2.2.1 微加速度计基本原理 | 第25-26页 |
| 2.2.2 微加速度计应用与分类 | 第26-28页 |
| 2.3 梳齿式电容微加速度计 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小结 | 第29-32页 |
| 第三章 微加速度计冲击实验 | 第32-44页 |
| 3.1 冲击实验方法讨论 | 第32-34页 |
| 3.2 霍普金森杆冲击实验 | 第34-37页 |
| 3.2.1 应力波理论基础 | 第34-35页 |
| 3.2.2 实验简介 | 第35-37页 |
| 3.3 有效加速度信号获取 | 第37-40页 |
| 3.3.1 应变片法 | 第37-38页 |
| 3.3.2 石英晶片法 | 第38-39页 |
| 3.3.3 激光多普勒干涉仪法 | 第39-40页 |
| 3.4 冲击实验有限元模拟 | 第40-43页 |
| 3.4.1 正弦冲击载荷 | 第40-42页 |
| 3.4.2 应变片对应力脉冲的影响 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 微加速度计冲击仿真分析 | 第44-60页 |
| 4.1 常见的失效模式与机理分析 | 第44-47页 |
| 4.1.1 断裂 | 第44-45页 |
| 4.1.2 粘附 | 第45-46页 |
| 4.1.3 锚结构破坏 | 第46-47页 |
| 4.2 微悬臂梁模态分析 | 第47-48页 |
| 4.3 梳齿结构冲击载荷仿真 | 第48-54页 |
| 4.3.1 正弦载荷冲击仿真 | 第48-50页 |
| 4.3.2 不同方向的冲击仿真 | 第50-53页 |
| 4.3.3 不同幅值和频率的冲击仿真 | 第53-54页 |
| 4.4 微加速度计冲击仿真分析 | 第54-59页 |
| 4.4.1 微加速度计结构建模 | 第54-56页 |
| 4.4.2 正弦加速度冲击仿真 | 第56-59页 |
| 4.5 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 工作总结 | 第60-61页 |
| 5.2 展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第69页 |
