| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 引言 | 第9-10页 |
| 1.2 氧化钒的基本性质 | 第10-12页 |
| 1.3 VO_2薄膜应用 | 第12-13页 |
| 1.4 激光致盲与VO_2防护方案 | 第13-15页 |
| 1.5 本课题主要研究内容和创新点 | 第15-17页 |
| 2 VO_2理论分析 | 第17-24页 |
| 2.1 VO_2相变原理 | 第17-19页 |
| 2.2 VO_2激光防护原理 | 第19-21页 |
| 2.3 等效介质理论 | 第21-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 3 VO_2膜系设计 | 第24-36页 |
| 3.1 TFCalc软件介绍 | 第24-26页 |
| 3.2 VO_2薄膜的光学仿真计算 | 第26-30页 |
| 3.3 VO_2-SiO_2组合薄膜的光学仿真计算 | 第30-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-36页 |
| 4 VO_2薄膜的制备 | 第36-44页 |
| 4.1 VO_2的制备工艺 | 第36-38页 |
| 4.2 磁控溅射制备VO_2薄膜 | 第38-41页 |
| 4.3 磁控双靶溅射制备VO_2-SiO_2薄膜 | 第41-43页 |
| 4.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 5 薄膜表征和性能测试 | 第44-58页 |
| 5.1 VO_2薄膜的性能测试 | 第44-49页 |
| 5.2 VO_2-SiO_2薄膜的性能测试 | 第49-56页 |
| 5.3 本章小结 | 第56-58页 |
| 6 VO_2在激光防护中的应用 | 第58-63页 |
| 6.1 相变阈值 | 第58-59页 |
| 6.2 VO_2对硅光电池的防护 | 第59-60页 |
| 6.3 VO_2薄膜的激光损伤阈值 | 第60-62页 |
| 6.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 7 总结和展望 | 第63-65页 |
| 7.1 总结 | 第63页 |
| 7.2 展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-73页 |
| 附录 攻读学位期间发表的论文目录 | 第73页 |