基于掩膜刻蚀的微小结构阵列加工方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 选题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 微小结构阵列加工方法研究现状 | 第10-19页 |
| 1.2.1 微细激光加工 | 第10-12页 |
| 1.2.2 微细切削加工 | 第12-13页 |
| 1.2.3 微细超声加工 | 第13-14页 |
| 1.2.4 微细电火花加工 | 第14-16页 |
| 1.2.5 微细化学加工 | 第16-17页 |
| 1.2.6 微细电化学加工 | 第17-19页 |
| 1.3 掩膜微细电解加工 | 第19-23页 |
| 1.4 本论文研究思路 | 第23-24页 |
| 2 电解加工基本理论 | 第24-32页 |
| 2.1 电解加工相关理论 | 第24-28页 |
| 2.1.1 电解加工基本原理 | 第24页 |
| 2.1.2 法拉第定律 | 第24-25页 |
| 2.1.3 电极电位的形成 | 第25-26页 |
| 2.1.4 阳极极化 | 第26-28页 |
| 2.2 电解加工参数 | 第28-29页 |
| 2.2.1 电流密度 | 第28页 |
| 2.2.2 加工电压 | 第28-29页 |
| 2.2.3 电解液流场参数 | 第29页 |
| 2.2.4 电解液组成 | 第29页 |
| 2.3 脉冲电解加工 | 第29-31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 铝表面微沟槽阵列加工 | 第32-50页 |
| 3.1 光刻胶绝缘层制备 | 第32-33页 |
| 3.2 掩膜微细化学加工技术加工微沟槽阵列 | 第33-40页 |
| 3.2.1 试验准备 | 第34-35页 |
| 3.2.2 掩膜微细化学加工试验 | 第35-40页 |
| 3.3 掩膜微细电解加工技术加工微沟槽阵列 | 第40-49页 |
| 3.3.1 试验准备 | 第40-42页 |
| 3.3.2 电场分析 | 第42-46页 |
| 3.3.3 掩膜微细电解加工试验 | 第46-49页 |
| 3.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 304不锈钢表面微沟槽阵列加工 | 第50-65页 |
| 4.1 试验准备 | 第50页 |
| 4.2 掩膜微细电解加工不锈钢微沟槽阵列的问题 | 第50-52页 |
| 4.3 采用复合电解液加工不锈钢微沟槽阵列 | 第52-57页 |
| 4.3.1 电流密度对微沟槽成型的影响 | 第53-55页 |
| 4.3.2 加工时间对微沟槽成型的影响 | 第55-57页 |
| 4.3.3 较优参数加工微沟槽阵列 | 第57页 |
| 4.4 采用脉冲电源加工不锈钢微沟槽阵列 | 第57-64页 |
| 4.4.1 试验准备 | 第58-59页 |
| 4.4.2 脉冲参数对微沟槽宽度的影响 | 第59页 |
| 4.4.3 脉冲参数对微沟槽深度的影响 | 第59-60页 |
| 4.4.4 脉冲参数对集中刻蚀能力的影响 | 第60-61页 |
| 4.4.5 脉冲参数对沟槽端部圆角半径的影响 | 第61-62页 |
| 4.4.6 较优参数加工微沟槽阵列 | 第62-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
