| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-16页 |
| 1.2.1 微流体流动特性的研究现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 微流量传感器的研究现状 | 第11-16页 |
| 1.3 研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 微流体流动数学模型的建立 | 第17-24页 |
| 2.1 微流体流动的建模方法 | 第17-20页 |
| 2.1.1 连续介质模型 | 第17-18页 |
| 2.1.2 基于分子的模型 | 第18-19页 |
| 2.1.3 介观模拟方法 | 第19-20页 |
| 2.2 微流体流动的数学模型 | 第20-23页 |
| 2.2.1 微流体流动的影响因素及对策 | 第20-22页 |
| 2.2.2 圆形微通道内微流体流动的数学模型 | 第22-23页 |
| 2.3 本章小结 | 第23-24页 |
| 第3章 微通道动力进口段长度及其对流动特性的影响 | 第24-37页 |
| 3.1 动力进口段 | 第24-25页 |
| 3.2 圆形微通道内微流体流动的数值模拟 | 第25-28页 |
| 3.2.1 FLUENT软件 | 第25页 |
| 3.2.2 微流体流动特性研究的前处理 | 第25-26页 |
| 3.2.3 微流体流动模型的求解 | 第26-28页 |
| 3.3 微流体流动的仿真与分析 | 第28-35页 |
| 3.3.1 微流体流动特性 | 第29-30页 |
| 3.3.2 圆形微通道的动力进口段长度 | 第30-33页 |
| 3.3.3 动力进口段对微流体流动阻力特性的影响 | 第33-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 微流量传感器的设计 | 第37-49页 |
| 4.1 微流量传感器的原理与结构 | 第37-40页 |
| 4.1.1 微流量传感器的基本原理 | 第37-38页 |
| 4.1.2 微流量传感器的结构设计 | 第38-39页 |
| 4.1.3 微流量传感器的工作原理 | 第39-40页 |
| 4.2 微流量传感器输入输出关系的理论分析 | 第40-45页 |
| 4.2.1 PZT压电层的压电效应 | 第40-41页 |
| 4.2.2 PZT压电层的受力分析 | 第41-44页 |
| 4.2.3 微流量传感器的输入输出关系 | 第44-45页 |
| 4.3 微流量传感器的制作工艺 | 第45-48页 |
| 4.3.1 圆形微通道的制作工艺 | 第45-46页 |
| 4.3.2 压电微悬臂梁的制作工艺 | 第46-48页 |
| 4.3.3 微流量传感器的封装 | 第48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 微流量传感器灵敏度特性的有限元分析 | 第49-58页 |
| 5.1 压电微悬臂梁的ANSYS建模与求解 | 第49-51页 |
| 5.2 微流量传感器灵敏度特性的仿真与分析 | 第51-57页 |
| 5.2.1 压电微悬臂梁结构参数对微流量传感器输出的影响 | 第52-56页 |
| 5.2.2 微流量传感器灵敏度特性 | 第56-57页 |
| 5.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 第6章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 6.1 工作总结 | 第58-59页 |
| 6.2 创新点 | 第59页 |
| 6.3 研究展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 在读期间发表的学术成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |