| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 磁电子学简介 | 第9-10页 |
| 1.2 磁电阻效应综述 | 第10-19页 |
| 1.2.1 巨磁电阻效应的本源 | 第10-14页 |
| 1.2.2 影响巨磁电阻大小的因素 | 第14-16页 |
| 1.2.3 自旋阀型GMR的发现 | 第16-17页 |
| 1.2.4 GMR传感器的应用 | 第17-19页 |
| 1.3 柔性电子学 | 第19-23页 |
| 1.3.1 柔性电子学的发展 | 第19-22页 |
| 1.3.2 柔性磁电子器件 | 第22-23页 |
| 1.4 论文选题背景和意义 | 第23-24页 |
| 1.5 论文主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 薄膜样品的制备与表征测试手段 | 第25-35页 |
| 2.1 衬底的制备 | 第25-27页 |
| 2.2 磁控溅射法制备薄膜 | 第27-28页 |
| 2.3 磁性测试 | 第28-30页 |
| 2.3.1 磁光克尔测试系统 | 第28-29页 |
| 2.3.2 振动样品磁强计 | 第29-30页 |
| 2.4 台阶仪标定样品速率 | 第30-32页 |
| 2.5 样品表面形貌的表征 | 第32-35页 |
| 2.5.1 激光共聚焦显微镜 | 第32-33页 |
| 2.5.2 扫描探针显微镜 | 第33-35页 |
| 第三章 自旋阀的优化 | 第35-48页 |
| 3.1 引言 | 第35-36页 |
| 3.2 各层薄膜工艺参数的制定 | 第36-41页 |
| 3.3 单自由层自旋阀薄膜结构的制备 | 第41-42页 |
| 3.4 具有复合自由层自旋阀薄膜结构的制备 | 第42-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 应力对柔性衬底PDMS上微图案化自旋阀薄膜结构的调控研究 | 第48-65页 |
| 4.1 引言 | 第48-49页 |
| 4.2 条带型图案化自旋阀薄膜的制备 | 第49-51页 |
| 4.3 应力对条带型自旋阀薄膜器件的调控研究 | 第51-61页 |
| 4.4 曲线型图案化自旋阀薄膜的制备及其应力调控研究 | 第61-64页 |
| 4.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结论与展望 | 第65-68页 |
| 5.1 结论 | 第65-66页 |
| 5.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 硕士期间研究成果 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |