光学微环谐振腔应力调制研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-18页
·论文研究背景及意义	第9-10页
·论文的国内外发展现状	第10-16页
·Si 基光学微环谐振腔结构及器件研究方面	第10-13页
·Si 基光学微环谐振腔应力调制及器件研究方面	第13-16页
·论文的主要研究内容	第16-18页
第二章 光学微环谐振腔应力调制机理	第18-26页
·引言	第18页
·光学微环谐振腔回音壁模式（WGM）	第18-21页
·品质因子	第18-19页
·自由频谱宽度	第19-20页
·半高全宽	第20-21页
·精细度	第21页
·谐振波长	第21页
·光学微环谐振腔应力调制机理	第21-25页
·环形波导谐振谱线漂移量与半径增量关系原理	第21-22页
·环形波导半径增量与外界应力关系原理	第22-24页
·硅基光学微环谐振腔应力调制效应机理	第24-25页
·本章小结	第25-26页
第三章 光学微环谐振腔结构设计及制备工艺	第26-45页
·引言	第26页
·悬臂梁式光学微环谐振腔结构设计	第26-35页
·谐振腔结构的参数设计及优化	第26-34页
·谐振腔结构的版图设计	第34-35页
·光学微环谐振腔结构的制备	第35-43页
·光学微环谐振腔结构的主要制备工艺	第35-38页
·光学微环谐振腔结构的制备	第38-43页
·本章小结	第43-45页
第四章 光学微环谐振腔应力调制及敏感性能测试	第45-60页
·引言	第45页
·光学微环谐振腔力光测试系统的搭建	第45-48页
·光学测试系统平台的搭建	第45-47页
·螺旋微位移加压装置设计	第47-48页
·光学微环谐振腔应力调制及敏感性能测试分析	第48-59页
·光学微环谐振腔结构通光测试	第48-50页
·光学微环谐振腔应力调制性能测试	第50-52页
·光学微环谐振腔应力/应变值计算及敏感特性分析	第52-59页
·本章小结	第59-60页
第五章 总结与展望	第60-62页
参考文献	第62-69页
攻读硕士学位期间所取得的成果	第69-70页
致谢	第70-71页