基于霍尔效应电流传感器的离子电流测试系统设计研发
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·研究背景 | 第9页 |
| ·研究现状 | 第9-11页 |
| ·离子束辅助镀膜的研究现状 | 第9-10页 |
| ·离子电流的研究现状 | 第10-11页 |
| ·本论文研究目的和主要内容 | 第11-13页 |
| ·论文研究目的 | 第11页 |
| ·论文主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 离子束电流 | 第13-24页 |
| ·等离子体 | 第13-16页 |
| ·等离子体的概念 | 第13页 |
| ·等离子体的性质 | 第13页 |
| ·等离子体的分类 | 第13-14页 |
| ·等离子体的应用 | 第14-16页 |
| ·离子源的种类 | 第16-17页 |
| ·考夫曼离子源 | 第16页 |
| ·射频离子源 | 第16页 |
| ·霍尔离子源 | 第16-17页 |
| ·线性离子源 | 第17页 |
| ·电流检测方法 | 第17-23页 |
| ·分流器法 | 第17-18页 |
| ·罗果夫斯基(Rogowski)线圈法 | 第18-19页 |
| ·探针法 | 第19-20页 |
| ·光学电流传感器 | 第20-21页 |
| ·霍尔效应电流传感器 | 第21-23页 |
| 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 霍尔效应电流检测系统 | 第24-32页 |
| ·磁控溅射真空镀膜系统 | 第24-26页 |
| ·磁控溅射原理 | 第24-25页 |
| ·磁控溅射法的分类 | 第25页 |
| ·磁控溅射设备 | 第25-26页 |
| ·霍尔效应电流传感器的原理 | 第26-27页 |
| ·离子电流检测系统的设计 | 第27-28页 |
| ·等离子体性质诊断的意义 | 第28页 |
| ·等离子体诊断方法 | 第28-31页 |
| ·静电探针法 | 第28-29页 |
| ·质谱法 | 第29页 |
| ·微波诊断法 | 第29-30页 |
| ·光谱法 | 第30-31页 |
| 本章小结 | 第31-32页 |
| 第四章 霍尔效应电流传感器测离子电流 | 第32-46页 |
| ·实验条件 | 第32页 |
| ·Ar离子源放电诊断 | 第32-35页 |
| ·O_2离子源放电诊断 | 第35-40页 |
| ·N_2离子源放电诊断 | 第40-44页 |
| 本章小结 | 第44-46页 |
| 第五章 结论与展望 | 第46-48页 |
| ·结论 | 第46-47页 |
| ·展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
