基于激光位移测量的光学压力传感器研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-20页 |
| 第一章 绪论 | 第20-45页 |
| ·研究背景 | 第20-41页 |
| ·MEMS 压力传感器 | 第21-26页 |
| ·光纤压力传感器 | 第26-32页 |
| ·激光位移-压力测量模型 | 第32-37页 |
| ·亚像元峰值检测 | 第37-41页 |
| ·研究内容 | 第41-43页 |
| ·论文的组织结构 | 第43-45页 |
| 第二章 压力调和模型研究 | 第45-67页 |
| ·压力调和模型 | 第45-56页 |
| ·压力-位移分析模型 | 第45-51页 |
| ·压力-位移模型实验 | 第51-54页 |
| ·比较分析模型与最小二乘拟合模型 | 第54-56页 |
| ·调和参数 | 第56-63页 |
| ·调和特性 | 第56-57页 |
| ·调和裕量 | 第57-59页 |
| ·最优调和参数变步长搜索算法 | 第59-63页 |
| ·压力工作区 | 第63-66页 |
| ·小挠度工作区 | 第63-65页 |
| ·大挠度工作区 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第三章 LDM 光学压力传感器设计 | 第67-90页 |
| ·LDM 光学压力传感器的总体方案 | 第67-70页 |
| ·反射型激光三角测量法 | 第70-78页 |
| ·反射型激光三角法测量模型 | 第70-73页 |
| ·像元成像非线性误差分析 | 第73-76页 |
| ·像元成像偏移补偿 | 第76-78页 |
| ·激光探针总成布置 | 第78-79页 |
| ·圆膜及压力腔总成设计 | 第79-81页 |
| ·模拟前端 | 第81-89页 |
| ·驱动半导体激光管 | 第82页 |
| ·CCD 驱动时序生成 | 第82-84页 |
| ·CCD 信号的前置放大 | 第84-85页 |
| ·CCD 信号处理器接口及配置 | 第85-87页 |
| ·CCD 信号处理器的运行控制 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第四章 光学压力信号特性及位移模型研究 | 第90-110页 |
| ·引言 | 第90-91页 |
| ·光强度信号与表面粗糙度 | 第91-95页 |
| ·光强度信号的高阶统计特性 | 第95-100页 |
| ·激光位移-压力数学模型 | 第100-108页 |
| ·本章小结 | 第108-110页 |
| 第五章 亚像元峰值位置盲提取 | 第110-126页 |
| ·引言 | 第110-112页 |
| ·反卷积算法模型 | 第112-114页 |
| ·最大三阶相关峭度反卷积算法 | 第114-117页 |
| ·逆滤波器的迭代解 | 第114-115页 |
| ·三阶相关峭度反卷积算法的收敛性 | 第115-117页 |
| ·三阶相关峭度反卷积算法的稳定性 | 第117页 |
| ·算法仿真实验 | 第117-124页 |
| ·仿真模拟数据 | 第117-119页 |
| ·算法仿真实验 | 第119-124页 |
| ·本章小结 | 第124-126页 |
| 第六章 标定实验与压力实验 | 第126-136页 |
| ·标定实验 | 第126-133页 |
| ·激光探针标定实验 | 第126-130页 |
| ·压力传感器标定实验 | 第130-133页 |
| ·压力实验 | 第133-135页 |
| ·本章小结 | 第135-136页 |
| 总结与展望 | 第136-139页 |
| 研究工作总结和创新点 | 第136-138页 |
| 展望 | 第138-139页 |
| 参考文献 | 第139-153页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第153-155页 |
| 致谢 | 第155-156页 |
| 答辩委员会对论文的评定意见 | 第156页 |
