| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·选题研究背景 | 第7-9页 |
| ·国内外文献综述 | 第9-11页 |
| ·压电微传感器及PZT压电材料 | 第11-13页 |
| ·本课题的研究意义及内容 | 第13-14页 |
| 2 PZT压电微传感器的理论研究与优化模型 | 第14-23页 |
| ·PZT压电悬臂梁弯曲特性仿真 | 第14-15页 |
| ·压电微传感器优化模型 | 第15-22页 |
| ·初始模型 | 第15-17页 |
| ·压电悬臂梁力—电荷转化关系推导 | 第17-20页 |
| ·求解约束条件 | 第20-21页 |
| ·优化模型 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 压电微传感器的模型求解 | 第23-37页 |
| ·遗传算法简介 | 第23-25页 |
| ·遗传算法的基本原理 | 第23-24页 |
| ·遗传算法的操作过程 | 第24-25页 |
| ·微传感器多变量多约束模型的建立 | 第25-29页 |
| ·用自适应法构造惩罚函数 | 第25-26页 |
| ·对设计变量的编码 | 第26-27页 |
| ·对优化结果的解码 | 第27页 |
| ·微传感器优化适应度函数求解 | 第27-28页 |
| ·定义遗传迭代过程中的终止条件 | 第28页 |
| ·赋值遗传算子 | 第28-29页 |
| ·微传感器遗传优化的运行参数 | 第29页 |
| ·优化模型的求解 | 第29-36页 |
| ·Matlab GUI界面设置 | 第29-30页 |
| ·求解结果及数据分析 | 第30-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 4 基于Comsol Multiphysics的微传感器仿真 | 第37-46页 |
| ·Comsol Multiphysics的基本介绍 | 第37页 |
| ·微悬臂梁的Comsol仿真过程 | 第37-39页 |
| ·微悬臂梁的稳态分析 | 第39-42页 |
| ·微悬臂梁的特征频率分析 | 第42-45页 |
| ·理论基础及意义 | 第42页 |
| ·特征频率分析及结果 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 5 结论与展望 | 第46-48页 |
| ·结论 | 第46-47页 |
| ·展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 申请学位期间的研究成果及发表的学术论文 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52页 |