微硅陀螺激励子系统集成电路的研究与实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·国内外研究与发展状况 | 第10-12页 |
| ·国外状况 | 第10-11页 |
| ·国内状况 | 第11-12页 |
| ·课题研究的内容与安排 | 第12-15页 |
| ·论文研究的内容 | 第12-13页 |
| ·论文内容的安排 | 第13-15页 |
| 第二章 微硅陀螺仪 | 第15-22页 |
| ·弹性系统的受迫振动 | 第15-16页 |
| ·微硅陀螺仪 | 第16-18页 |
| ·哥氏力 | 第16-17页 |
| ·振动式陀螺仪 | 第17-18页 |
| ·音叉式振动陀螺仪 | 第18页 |
| ·静电激励 | 第18-20页 |
| ·微机械热噪声 | 第20-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 第三章 直流电源设计 | 第22-33页 |
| ·基准电压源 | 第22-30页 |
| ·基准电压源的概述 | 第22页 |
| ·工作原理 | 第22-23页 |
| ·零温度系数 | 第23-26页 |
| ·比例温度系数 | 第26页 |
| ·电路结构 | 第26-28页 |
| ·基准电压的倍压 | 第28页 |
| ·温度传感器 | 第28-29页 |
| ·基准电压源温度特性仿真 | 第29-30页 |
| ·微电流源 | 第30-32页 |
| ·电流值推导 | 第30-31页 |
| ·理论计算与仿真 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第四章 静电激励系统设计 | 第33-64页 |
| ·静电激励系统概述 | 第33页 |
| ·电荷放大器 | 第33-44页 |
| ·电荷放大器原理 | 第34页 |
| ·差分电容检测 | 第34-36页 |
| ·全差分放大器 | 第36-38页 |
| ·共源共栅有源负载 | 第38-39页 |
| ·共模增益 | 第39-40页 |
| ·共模反馈电路 | 第40-42页 |
| ·仿真结果与分析 | 第42-44页 |
| ·可变增益放大器 | 第44-46页 |
| ·电压增益推导 | 第44-45页 |
| ·仿真结果 | 第45-46页 |
| ·带通滤波器 | 第46-48页 |
| ·频率响应分析 | 第46-48页 |
| ·滤波器的仿真 | 第48页 |
| ·锁存比较器 | 第48-54页 |
| ·预放大和锁存电路分析 | 第49-50页 |
| ·初始电压差的建立 | 第50-51页 |
| ·正反馈确定 | 第51页 |
| ·锁存时间常数 | 第51-53页 |
| ·前置放大器 | 第53页 |
| ·锁存比较器的仿真 | 第53-54页 |
| ·电荷泵 | 第54-59页 |
| ·电荷泵原理 | 第54页 |
| ·3 比率升压式电荷泵 | 第54-57页 |
| ·输出稳压器 | 第57页 |
| ·可变增益放大器的控制信号 | 第57-58页 |
| ·仿真结果 | 第58-59页 |
| ·激励输出接口 | 第59-63页 |
| ·电路结构定性分析 | 第59-60页 |
| ·输出接口的工作过程 | 第60-61页 |
| ·仿真结果 | 第61-63页 |
| ·激励子系统整体电路图 | 第63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第五章 版图设计及验证 | 第64-74页 |
| ·工艺结构 | 第64页 |
| ·电路的器件实现 | 第64-67页 |
| ·集成电阻 | 第64-66页 |
| ·MOS电容 | 第66-67页 |
| ·调制电阻的实现 | 第67-70页 |
| ·样管样阻的布局 | 第70页 |
| ·版图的整体结构 | 第70-71页 |
| ·版图的DRACULA验证 | 第71-73页 |
| ·DRC检查 | 第71-72页 |
| ·LVS检查 | 第72页 |
| ·技术文件编写 | 第72-73页 |
| ·小结 | 第73-74页 |
| 第六章 结束语 | 第74-75页 |
| ·论文工作总结 | 第74页 |
| ·进一步工作的建议 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-79页 |
| 研究成果 | 第79页 |
