基于PLC的第二代MOCVD控制系统设计与研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·GAN外延生长的主要方法 | 第7-8页 |
| ·MOCVD技术特点 | 第8页 |
| ·MOCVD的技术的基本原理 | 第8-9页 |
| ·本文的主要工作 | 第9-11页 |
| 第二章 计算机控制系统研究 | 第11-21页 |
| ·计算机控制系统的概念 | 第11页 |
| ·计算机控制系统的分类 | 第11-14页 |
| ·DDC计算机直接数字控制系统 | 第12页 |
| ·DCS计算机集散控制系统 | 第12-13页 |
| ·FCS现场总线控制系统 | 第13-14页 |
| ·PLC可编程控制系统 | 第14-17页 |
| ·可编程控制器的定义 | 第15页 |
| ·PLC的特点 | 第15-16页 |
| ·PLC的应用领域 | 第16-17页 |
| ·PLC与其它控制系统的比较 | 第17-18页 |
| ·PLC与继电器控制系统的比较 | 第17页 |
| ·PLC与集散控制系统的比较 | 第17-18页 |
| ·MOCVD控制系统的工艺概述与控制流程 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 MOCVD控制系统的硬件设计及设备选型 | 第21-33页 |
| ·MOCVD控制系统的组成 | 第21-22页 |
| ·控制系统的设备选型 | 第22-26页 |
| ·上位机选型 | 第23页 |
| ·PLC系统的I/O配置和选型 | 第23-24页 |
| ·存储器容量估算 | 第24-25页 |
| ·电流耗量和功率损耗估算 | 第25-26页 |
| ·控制系统输入输出通道设计 | 第26-28页 |
| ·模拟量输入通道 | 第26-27页 |
| ·模拟量输出通道 | 第27页 |
| ·数字量输入通道 | 第27页 |
| ·数字量输出通道 | 第27-28页 |
| ·控制柜的电气设计 | 第28-29页 |
| ·仪表电气设计 | 第28页 |
| ·控制柜内外布线 | 第28-29页 |
| ·系统的抗干扰分析 | 第29-32页 |
| ·PLC控制系统中电磁干扰的主要来源 | 第29-30页 |
| ·PLC控制系统工程的抗干扰设计 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第四章 MOCVD控制系统软件设计及优化研究 | 第33-49页 |
| ·PLC主控程序的总体设计 | 第33-35页 |
| ·步序循环控制 | 第35-37页 |
| ·模拟量输入控制 | 第37-39页 |
| ·控制方案的设计 | 第37-38页 |
| ·控制程序的实现 | 第38页 |
| ·采入时间的控制 | 第38-39页 |
| ·模拟量渐变爬升控制 | 第39-42页 |
| ·模拟量输出控制 | 第42页 |
| ·数字量输出控制 | 第42-43页 |
| ·报警及故障处理 | 第43-44页 |
| ·辅控程序设计 | 第44-45页 |
| ·上位监控系统软件设计和优化 | 第45-47页 |
| ·S7-300与WinCC的通信设置 | 第45-46页 |
| ·上位监控系统的主要功能 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第五章 温度控制系统研究及实现 | 第49-55页 |
| ·温度控制的特点 | 第49页 |
| ·MOCVD温度控制系统特点 | 第49-50页 |
| ·MOCVD温度控制系统结构 | 第50-51页 |
| ·温度控制系统的基本结构 | 第50页 |
| ·感应加热原理 | 第50-51页 |
| ·温度控制的实现 | 第51-54页 |
| ·手动调节温度和RF值的曲线 | 第51-52页 |
| ·手动控制 | 第52页 |
| ·自动控制 | 第52-53页 |
| ·手控、自控的相互切换 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 工作总结 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 在读期间研究成果 | 第61-62页 |
