真空微电子加速度传感器信号处理电路的研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·加速度传感器 | 第8-10页 |
| ·加速度传感器的信号处理电路 | 第10-14页 |
| ·电容式加速度传感器的信号处理电路 | 第10-12页 |
| ·隧道式加速度传感器的信号处理电路 | 第12-14页 |
| ·本论文的研究意义和主要研究内容 | 第14-15页 |
| ·本论文的研究意义 | 第14页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 2 真空微电子加速度传感器的结构及其工作原理 | 第16-22页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·场致发射理论 | 第16-17页 |
| ·真空微电子加速度传感器的结构和工作原理 | 第17-19页 |
| ·力平衡式真空微电子加速度传感器系统的理论分析 | 第19-20页 |
| ·线性度分析 | 第20页 |
| ·灵敏度分析 | 第20页 |
| ·本章小结 | 第20-22页 |
| 3 信号处理电路的设计 | 第22-52页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·信号处理电路的方案 | 第22-33页 |
| ·信号处理电路的原理框图 | 第22-23页 |
| ·驱动电路和参考电压源电路的设计 | 第23-24页 |
| ·I/V 转换电路的设计与模拟 | 第24-25页 |
| ·差分放大电路的设计与模拟 | 第25-26页 |
| ·低通滤波电路的设计与模拟 | 第26-28页 |
| ·次级放大电路的设计与模拟 | 第28-29页 |
| ·反馈电路的设计与模拟 | 第29-30页 |
| ·电压跟随电路的设计与模拟 | 第30-32页 |
| ·电平转移电路的设计与模拟 | 第32-33页 |
| ·单片机数据采集和显示电路的设计 | 第33-43页 |
| ·A/D 转换电路的设计 | 第33-37页 |
| ·单片机数据处理电路的设计 | 第37-41页 |
| ·LED 数码管显示电路的设计 | 第41-43页 |
| ·信号处理电路总的原理图、PCB 版图以及实物图 | 第43-44页 |
| ·单片机程序的设计 | 第44-51页 |
| ·A/D 转换子程序的设计 | 第45-46页 |
| ·单片机数据处理子程序的设计 | 第46-49页 |
| ·LED 数码管显示子程序的设计 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 4 信号处理电路的调试 | 第52-63页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·各单元电路的调试 | 第52-57页 |
| ·电路板的电气检查 | 第53页 |
| ·差分放大电路和低通滤波电路的调试 | 第53-54页 |
| ·次级放大电路的调试 | 第54-55页 |
| ·反馈电路、电压跟随电路和电平转移电路的调试 | 第55-56页 |
| ·时钟电路、分频电路和复位电路的调试 | 第56-57页 |
| ·A/D 转换电路和单片机程序的调试 | 第57页 |
| ·传感器芯片性能的测试 | 第57-60页 |
| ·抑制电路干扰的措施 | 第60-62页 |
| ·电路中常见干扰形成的原因 | 第60页 |
| ·干扰耦合的途径 | 第60-61页 |
| ·抑制干扰的主要方法 | 第61页 |
| ·电子线路干扰的抑制 | 第61页 |
| ·综合防护措施 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 5 结论 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 附录 | 第67-68页 |
