| 第一章 引言 | 第1-18页 |
| 1 研究背景 | 第9页 |
| 2 TiO_2薄膜研究现状及发展趋势 | 第9-11页 |
| 3 TiO_2薄膜制备方法及掺杂 | 第11-15页 |
| 4 相关理论 | 第15-18页 |
| 第二章 实验 | 第18-21页 |
| ·实验设备与仪器 | 第18页 |
| ·主要化学试剂及衬底基片 | 第18页 |
| ·测试仪器及用途 | 第18-19页 |
| ·衬底及加热器的清洁处理 | 第19页 |
| ·薄膜的制备 | 第19-21页 |
| 第三章 结果与讨论 | 第21-40页 |
| ·TiO_2薄膜结构特性 | 第21-28页 |
| ·TiO_2薄膜的表面形貌分析 | 第28-32页 |
| ·TiO_2薄膜的电学特性 | 第32页 |
| ·TiO_2薄膜的光学特性 | 第32-35页 |
| ·TiO_2薄膜的气敏特性 | 第35-40页 |
| 第四章 结论 | 第40-41页 |
| 参考文献 | 第41-46页 |
| 致谢 | 第46-47页 |
| 硕士期间发表学术论文及参加的科研项目 | 第47页 |