MEMS电容式加速度传感器相关检测技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| ·微电子机械系统 | 第7-8页 |
| ·微机械加速度传感器 | 第8-13页 |
| ·加速度传感器及其应用 | 第8-9页 |
| ·相关检测技术 | 第9-10页 |
| ·微机械电容式加速度传感器 | 第10-11页 |
| ·微机械电容式加速度传感器接口电路 | 第11-13页 |
| ·论文主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 电容式加速度传感器及其等效电学模型 | 第14-27页 |
| ·电容式加速度传感器力学模型 | 第14-15页 |
| ·电容式加速度传感器差动电容 | 第15-17页 |
| ·电容式加速度传感器力学特性的等效电学模型 | 第17-18页 |
| ·电容式加速度传感器差动电容的等效电学模型 | 第18-23页 |
| ·压控电容模型 | 第18-21页 |
| ·差动电容的等效电学模型 | 第21-23页 |
| ·电容式加速度传感器等效电学模型模拟 | 第23-26页 |
| ·瞬态响应 | 第23-24页 |
| ·频率响应 | 第24页 |
| ·振动分析 | 第24-25页 |
| ·灵敏度与线性度 | 第25-26页 |
| ·小结 | 第26-27页 |
| 第3章 力平衡驱动特性及相关参数的研究 | 第27-39页 |
| ·反馈方式对力平衡性能的影响 | 第27-28页 |
| ·电压反馈到可动电极方式 | 第27-28页 |
| ·电压反馈到固定电极方式 | 第28页 |
| ·力平衡电容式加速度传感器等效电学模型 | 第28-30页 |
| ·偏置电压极性对力平衡性能的影响 | 第30-32页 |
| ·相同极性偏压 | 第30-31页 |
| ·相反极性偏压 | 第31-32页 |
| ·极板不平行对加速度计可靠工作范围的影响 | 第32-38页 |
| ·极板不平行对传感器的影响 | 第33-34页 |
| ·极板不平行电容式加速度传感器等效电学模型 | 第34页 |
| ·极板不平行有阻尼阶跃冲击的可靠工作范围 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 微机械电容式加速度传感器接口电路研究 | 第39-64页 |
| ·微小电容检测方法 | 第39-42页 |
| ·调制解调方案原理 | 第39-42页 |
| ·前期电路研究 | 第42-45页 |
| ·载波产生电路 | 第42页 |
| ·调制电路 | 第42-43页 |
| ·缓冲器电路 | 第43页 |
| ·相敏解调电路 | 第43-45页 |
| ·改进电路的研究 | 第45-56页 |
| ·载波发生 | 第45-47页 |
| ·电流检测 | 第47-48页 |
| ·仪表放大 | 第48-49页 |
| ·相敏解调 | 第49-54页 |
| ·低通滤波器 | 第54-56页 |
| ·系统仿真及实验结果 | 第56-63页 |
| ·电容式加速度计系统仿真 | 第56-58页 |
| ·实验数据与分析 | 第58-62页 |
| ·野外实验应用效果 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第5章 总结 | 第64-66页 |
| ·本论文工作的主要内容 | 第64-65页 |
| ·下一步工作的展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 硕士期间发表论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 作者简介 | 第72-73页 |
| 学位论文独创性声明 | 第73页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第73页 |
