| 第一章 引言 | 第1-9页 |
| ·选题背景 | 第6页 |
| ·研究动态 | 第6-7页 |
| ·研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| ·研究的内容和方法 | 第8-9页 |
| 第二章 叉指式微加速度计的工作原理 | 第9-14页 |
| ·叉指式微加速度计原理和结构 | 第9-11页 |
| ·叉指式微加速度计的检测系统 | 第11-14页 |
| ·开环检测系统 | 第11-12页 |
| ·静电反馈系统(力平衡加速度计) | 第12-14页 |
| 第三章 叉指式微加速度计的建模 | 第14-24页 |
| ·原理级描述仿真方法和COVENTORWARE软件 | 第14-16页 |
| ·用原理级描述仿真法建立叉指式微加速度计结构模型 | 第16-24页 |
| ·微电容加速度计模型所需元件单元 | 第16-21页 |
| ·微电容加速度计材料参数和尺寸参数 | 第21-22页 |
| ·微电容加速度计结构模型 | 第22-24页 |
| 第四章 叉指式微加速度计结构分析及结构参数优化 | 第24-39页 |
| ·折叠梁参数对表头的影响 | 第24-31页 |
| ·仿真分析折叠梁尺寸对加速度计模态频率的影响 | 第25-27页 |
| ·确定折叠梁尺寸参数 | 第27-31页 |
| ·静电力对加速度计的影响 | 第31-35页 |
| ·开环系统 | 第31-33页 |
| ·闭环系统 | 第33-35页 |
| ·弹簧的静电软化 | 第35-36页 |
| ·阻尼系数 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第五章 叉指式微加速度计检测电路分析 | 第39-46页 |
| ·加速度计测量方案的确定 | 第39-41页 |
| ·伺服反馈电路分析 | 第41-45页 |
| ·电荷放大器 | 第42-43页 |
| ·差动运算放大器 | 第43-44页 |
| ·同步解调器 | 第44-45页 |
| ·增益放大环节 | 第45页 |
| ·反馈环节 | 第45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第六章 叉指式微加速度计系统分析 | 第46-57页 |
| ·系统分析理论基础 | 第46-50页 |
| ·时域性能指标 | 第46-49页 |
| ·频域性能指标 | 第49页 |
| ·时域与频域两类性能指标的关系 | 第49-50页 |
| ·叉指式微加速度计系统动态特性分析 | 第50-55页 |
| ·叉指式微加速度计系统建模 | 第50-51页 |
| ·微电容加速度计的幅频特性分析 | 第51-54页 |
| ·微电容加速度计的瞬态特性分析 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第七章 总结与展望 | 第57-60页 |
| ·工作总结 | 第57-58页 |
| ·工作展望 | 第58-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |