第一章 引言 | 第1-11页 |
第二章 文献综述 | 第11-32页 |
2.1 节能镀膜玻璃的发展现状 | 第11-13页 |
2.1.1 建筑玻璃的节能问题和节能玻璃 | 第11-12页 |
2.1.2 建筑镀膜玻璃的节能特性 | 第12-13页 |
2.2 性能优异的节能型镀膜玻璃—低辐射玻璃 | 第13-20页 |
2.2.1 低辐射玻璃的节能原理 | 第14-15页 |
2.2.2 低辐射玻璃的种类 | 第15-20页 |
2.2.2.1 电介质/金属/电介质多层复合低辐射玻璃 | 第16-18页 |
2.2.2.2 半导体单层膜低辐射玻璃 | 第18-20页 |
2.3 玻璃镀膜的制备技术 | 第20-30页 |
2.3.1 真空蒸发镀膜法 | 第20-21页 |
2.3.2 溅射镀膜法 | 第21-22页 |
2.3.3 电浮法镀膜 | 第22页 |
2.3.4 化学气相沉积法(CVD) | 第22页 |
2.3.5 溶胶—凝胶法镀膜 | 第22-23页 |
2.3.6 喷雾热解法 | 第23-30页 |
2.4 选题角度的确定 | 第30-32页 |
第三章 喷雾热解法制备Sb掺杂SnO_2薄膜 | 第32-40页 |
3.1 涂膜液的选用 | 第32页 |
3.2 实验设备与器材 | 第32-34页 |
3.2.1 设备说明 | 第32-33页 |
3.2.2 成膜设备的设计与组成 | 第33-34页 |
3.3 薄膜制备过程 | 第34-36页 |
3.3.1 主要原料 | 第34页 |
3.3.2 掺Sb锡溶液的配制 | 第34-35页 |
3.3.3 玻璃基板的清洗 | 第35页 |
3.3.4 喷雾热解成膜 | 第35-36页 |
3.3.5 实验流程图 | 第36页 |
3.4 测试方法 | 第36-40页 |
3.4.1 膜成分的测试 | 第36-37页 |
3.4.2 膜结构的测试 | 第37-38页 |
3.4.3 薄膜的厚度的测定 | 第38页 |
3.4.4 薄膜的方块电阻、霍尔迁移率和载流子浓度的测定 | 第38-39页 |
3.4.5 薄膜光透射、反射率的测定 | 第39-40页 |
第四章 SnO_2:Sb薄膜的形貌、结构和成膜机理分析 | 第40-57页 |
4.1 不同条件下制备的薄膜 | 第40-41页 |
4.2 喷雾条件对基板温度的影响分析 | 第41-43页 |
4.3 薄膜厚度与与成膜条件的关系 | 第43页 |
4.4 SnO_2:Sb薄膜的组成和结构分析 | 第43-53页 |
4.4.1 扫描电镜(SEM)照片分析 | 第43-46页 |
4.4.2 AFM照片分析 | 第46-48页 |
4.4.3 透射电镜照片分析 | 第48-50页 |
4.4.4 XRD分析结果 | 第50-51页 |
4.4.5 XPS分析结果 | 第51-53页 |
4.5 SnO_2:Sb薄膜形成的机理探讨 | 第53-55页 |
4.6 本章小结 | 第55-57页 |
第五章 SnO_2:Sb薄膜的光电性能分析 | 第57-70页 |
5.1 薄膜的光学性能测试 | 第57-60页 |
5.1.1 紫外-可见透射图谱分析 | 第57-58页 |
5.1.2 近红外反射光谱分析 | 第58-59页 |
5.1.3 光学能隙 | 第59-60页 |
5.2 SnO_2:Sb薄膜的电学性能测试 | 第60-64页 |
5.2.1 方块电阻测量 | 第60-63页 |
5.2.2 霍尔迁移率、霍尔系数和载流子浓度 | 第63-64页 |
5.3 SnO_2:Sb薄膜玻璃的化学稳定性测试与分析 | 第64-65页 |
5.4 SnO_2:Sb薄膜光电性能的分析与讨论 | 第65-69页 |
5.5 本章小结 | 第69-70页 |
第六章 结论 | 第70-71页 |
参考文献 | 第71-76页 |