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喷雾热分解法制备SnO2:Sb薄膜及其性能研究

第一章 引言第1-11页
第二章 文献综述第11-32页
 2.1 节能镀膜玻璃的发展现状第11-13页
  2.1.1 建筑玻璃的节能问题和节能玻璃第11-12页
  2.1.2 建筑镀膜玻璃的节能特性第12-13页
 2.2 性能优异的节能型镀膜玻璃—低辐射玻璃第13-20页
  2.2.1 低辐射玻璃的节能原理第14-15页
  2.2.2 低辐射玻璃的种类第15-20页
   2.2.2.1 电介质/金属/电介质多层复合低辐射玻璃第16-18页
   2.2.2.2 半导体单层膜低辐射玻璃第18-20页
 2.3 玻璃镀膜的制备技术第20-30页
  2.3.1 真空蒸发镀膜法第20-21页
  2.3.2 溅射镀膜法第21-22页
  2.3.3 电浮法镀膜第22页
  2.3.4 化学气相沉积法(CVD)第22页
  2.3.5 溶胶—凝胶法镀膜第22-23页
  2.3.6 喷雾热解法第23-30页
 2.4 选题角度的确定第30-32页
第三章 喷雾热解法制备Sb掺杂SnO_2薄膜第32-40页
 3.1 涂膜液的选用第32页
 3.2 实验设备与器材第32-34页
  3.2.1 设备说明第32-33页
  3.2.2 成膜设备的设计与组成第33-34页
 3.3 薄膜制备过程第34-36页
  3.3.1 主要原料第34页
  3.3.2 掺Sb锡溶液的配制第34-35页
  3.3.3 玻璃基板的清洗第35页
  3.3.4 喷雾热解成膜第35-36页
  3.3.5 实验流程图第36页
 3.4 测试方法第36-40页
  3.4.1 膜成分的测试第36-37页
  3.4.2 膜结构的测试第37-38页
  3.4.3 薄膜的厚度的测定第38页
  3.4.4 薄膜的方块电阻、霍尔迁移率和载流子浓度的测定第38-39页
  3.4.5 薄膜光透射、反射率的测定第39-40页
第四章 SnO_2:Sb薄膜的形貌、结构和成膜机理分析第40-57页
 4.1 不同条件下制备的薄膜第40-41页
 4.2 喷雾条件对基板温度的影响分析第41-43页
 4.3 薄膜厚度与与成膜条件的关系第43页
 4.4 SnO_2:Sb薄膜的组成和结构分析第43-53页
  4.4.1 扫描电镜(SEM)照片分析第43-46页
  4.4.2 AFM照片分析第46-48页
  4.4.3 透射电镜照片分析第48-50页
  4.4.4 XRD分析结果第50-51页
  4.4.5 XPS分析结果第51-53页
 4.5 SnO_2:Sb薄膜形成的机理探讨第53-55页
 4.6 本章小结第55-57页
第五章 SnO_2:Sb薄膜的光电性能分析第57-70页
 5.1 薄膜的光学性能测试第57-60页
  5.1.1 紫外-可见透射图谱分析第57-58页
  5.1.2 近红外反射光谱分析第58-59页
  5.1.3 光学能隙第59-60页
 5.2 SnO_2:Sb薄膜的电学性能测试第60-64页
  5.2.1 方块电阻测量第60-63页
  5.2.2 霍尔迁移率、霍尔系数和载流子浓度第63-64页
 5.3 SnO_2:Sb薄膜玻璃的化学稳定性测试与分析第64-65页
 5.4 SnO_2:Sb薄膜光电性能的分析与讨论第65-69页
 5.5 本章小结第69-70页
第六章 结论第70-71页
参考文献第71-76页

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