平面旁热式甲烷气敏元件的研制
| 1 绪论 | 第1-14页 |
| ·气体传感器的种类 | 第8-9页 |
| ·国内外气体传感器的发展状况 | 第9-12页 |
| ·课题的提出及主要解决问题 | 第12-14页 |
| 2 元件加热电阻的制备 | 第14-20页 |
| ·加热电阻材料、制备工艺的选择 | 第14页 |
| ·溅射技术 | 第14-15页 |
| ·铂薄膜电阻的制作工艺 | 第15-20页 |
| 3 敏感膜材料的选取和制备 | 第20-25页 |
| ·SnO_2的特点和制备 | 第20-23页 |
| ·SnO_2的特点 | 第20-21页 |
| ·SnO_2的制备 | 第21-23页 |
| ·添加剂的选取 | 第23-25页 |
| 4 元件的制备 | 第25-29页 |
| ·气敏浆料配制 | 第25-26页 |
| ·敏感膜涂敷 | 第26页 |
| ·敏感膜烧结 | 第26页 |
| ·引线焊接 | 第26-27页 |
| ·金浆焊点烧结 | 第27页 |
| ·本元件和普通旁热式元件的制备工艺比较 | 第27-29页 |
| 5 测试结果与分析 | 第29-48页 |
| ·元件的测试方法 | 第29-30页 |
| ·测试电路与装置 | 第29页 |
| ·测试方法 | 第29-30页 |
| ·灵敏度特性 | 第30-38页 |
| ·灵敏度K的定义 | 第30-31页 |
| ·灵敏度与催化剂的关系 | 第31-35页 |
| ·灵敏度与烧结温度、时间的关系 | 第35-38页 |
| ·敏感膜的降阻 | 第38-42页 |
| ·掺杂Sb_2O_3降阻 | 第38-39页 |
| ·掺杂SnCl_2降阻 | 第39-40页 |
| ·掺杂SnCl_4降阻 | 第40-41页 |
| ·掺杂SnO降阻 | 第41-42页 |
| ·加热特性 | 第42-43页 |
| ·灵敏度与气体浓度的关系 | 第43-45页 |
| ·响应恢复特性 | 第45-46页 |
| ·气体选择性 | 第46-48页 |
| 6 敏感机理分析 | 第48-55页 |
| ·SnO_2气体传感器的导电机理 | 第48-53页 |
| ·基本模型 | 第48-49页 |
| ·SnO_2半导体气敏元件的工作原理 | 第49-52页 |
| ·甲烷的敏感机理 | 第52-53页 |
| ·改进措施 | 第53-55页 |
| 7 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 研究生在读期间已发表的论文 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 附录一 曲线拟合方法 | 第61-64页 |
| 附录二 电镜实验原理 | 第64页 |
