| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-6页 |
| 第一章 引言 | 第6-11页 |
| 1-1 铁电材料的研究历史 | 第6-7页 |
| 1-2 Ba_xSr_（1-x）TiO_3薄膜的研究现状 | 第7-8页 |
| 1-3 制备方法 | 第8-10页 |
| 参考文献 | 第10-11页 |
| 第二章 实验安排 | 第11-20页 |
| 2-1 实验原理 | 第11-14页 |
| 2-1-1 磁控溅射的基本原理和实验仪器 | 第11-12页 |
| 2-1-2 溶胶-凝胶法基本原理 | 第12-13页 |
| 2-1-3 后处理装置 | 第13-14页 |
| 2-2 电极的制备 | 第14-16页 |
| 2-3 溶胶的配制 | 第16-18页 |
| 2-4 BST薄膜的制备 | 第18-19页 |
| 参考文献 | 第19-20页 |
| 第三章 Ba_xSr_（1-x）TiO_3薄膜的结构形貌表征 | 第20-29页 |
| 3-1 扫描电子显微镜 | 第20-22页 |
| 3-1-1 扫描电镜的工作原理 | 第20页 |
| 3-1-2 BST薄膜的SEM分析 | 第20-22页 |
| 3-2 X射线衍射 | 第22-28页 |
| 3-2-1 X射线衍射的基本原理 | 第22-23页 |
| 3-2-2 BST薄膜的X射线衍射分析 | 第23-28页 |
| 参考文献 | 第28-29页 |
| 第四章 Ba_xSr_（1-x）TiO_3薄膜性能分析 | 第29-46页 |
| 4-1 介电性质 | 第29-41页 |
| 4-1-1 介电常数与介质损耗 | 第29-31页 |
| 4-1-2 极化的产生 | 第31-32页 |
| 4-1-3 介电驰豫 | 第32-33页 |
| 4-1-4 BST薄膜的介电性能 | 第33-41页 |
| 4-2 铁电性能 | 第41-45页 |
| 4-2-1 铁电畴和畴的运动 | 第41-43页 |
| 4-2-2 BST薄膜的铁电性质 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第五章 结论 | 第46-47页 |
| 附录一 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第47-48页 |
| 致 谢 | 第48页 |
