绝缘材料微孔膜对低能高电荷态离子束的导向效应研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
第一章 引言 | 第8-16页 |
·课题背景 | 第8-10页 |
·课题形成 | 第10-13页 |
·关注的物理量 | 第13-14页 |
参考文献 | 第14-16页 |
第二章 研究现状 | 第16-48页 |
·实验研究 | 第16-19页 |
·入射束 | 第16页 |
·微孔膜(靶) | 第16-18页 |
·探测器 | 第18页 |
·研究内容 | 第18-19页 |
·理论发展 | 第19-44页 |
·半经验理论 | 第19-37页 |
·模拟理论 | 第37-44页 |
·课题延伸 | 第44-45页 |
参考文献 | 第45-48页 |
第三章 实验技术与数据处理 | 第48-64页 |
·实验装置 | 第49-55页 |
·ECR离子源 | 第50页 |
·微孔膜 | 第50-51页 |
·静电平行板电荷态分析仪 | 第51-52页 |
·位置灵敏探测器 | 第52-54页 |
·信号处理及数据获取系统 | 第54-55页 |
·实验条件 | 第55-57页 |
·真空 | 第55页 |
·入射离子束 | 第55页 |
·微孔膜 | 第55-56页 |
·位置灵敏探测器 | 第56页 |
·调角器 | 第56-57页 |
·实验方法 | 第57-58页 |
·调束 | 第57页 |
·微孔膜方位校正 | 第57页 |
·出射束电荷态分析 | 第57-58页 |
·出射束角分布分析 | 第58页 |
·数据处理 | 第58-62页 |
·获得出射角分布半高宽σ_t的数据 | 第59-61页 |
·获得导引角ψ_c的数据 | 第61-62页 |
·实验误差分析 | 第62-63页 |
参考文献 | 第63-64页 |
第四章 实验结果与讨论 | 第64-83页 |
·离子束出射方向 | 第64-66页 |
·穿透率 | 第66-70页 |
·角分布宽度 | 第70-74页 |
·数据间关联 | 第74-78页 |
·总结 | 第78-80页 |
参考文献 | 第80-83页 |
附:实验数据 | 第83-102页 |
1、50nm孔径微孔膜 | 第83-93页 |
2、100nm孔径微孔膜 | 第93-101页 |
3、串列实验室数据 | 第101-102页 |
致谢 | 第102-103页 |
发表的论文 | 第103页 |