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绝缘材料微孔膜对低能高电荷态离子束的导向效应研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
第一章 引言第8-16页
   ·课题背景第8-10页
   ·课题形成第10-13页
   ·关注的物理量第13-14页
 参考文献第14-16页
第二章 研究现状第16-48页
   ·实验研究第16-19页
     ·入射束第16页
     ·微孔膜(靶)第16-18页
     ·探测器第18页
     ·研究内容第18-19页
   ·理论发展第19-44页
     ·半经验理论第19-37页
     ·模拟理论第37-44页
   ·课题延伸第44-45页
 参考文献第45-48页
第三章 实验技术与数据处理第48-64页
   ·实验装置第49-55页
     ·ECR离子源第50页
     ·微孔膜第50-51页
     ·静电平行板电荷态分析仪第51-52页
     ·位置灵敏探测器第52-54页
     ·信号处理及数据获取系统第54-55页
   ·实验条件第55-57页
     ·真空第55页
     ·入射离子束第55页
     ·微孔膜第55-56页
     ·位置灵敏探测器第56页
     ·调角器第56-57页
   ·实验方法第57-58页
     ·调束第57页
     ·微孔膜方位校正第57页
     ·出射束电荷态分析第57-58页
     ·出射束角分布分析第58页
   ·数据处理第58-62页
     ·获得出射角分布半高宽σ_t的数据第59-61页
     ·获得导引角ψ_c的数据第61-62页
   ·实验误差分析第62-63页
 参考文献第63-64页
第四章 实验结果与讨论第64-83页
   ·离子束出射方向第64-66页
   ·穿透率第66-70页
   ·角分布宽度第70-74页
   ·数据间关联第74-78页
   ·总结第78-80页
 参考文献第80-83页
附:实验数据第83-102页
 1、50nm孔径微孔膜第83-93页
 2、100nm孔径微孔膜第93-101页
 3、串列实验室数据第101-102页
致谢第102-103页
发表的论文第103页

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