钛扩散方法腐蚀掺镁铌酸锂晶体
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·导波光学的研究新进展 | 第7-9页 |
| ·光波导在集成光学中的应用 | 第7-8页 |
| ·光波导的分类 | 第8-9页 |
| ·光波导材料-铌酸锂晶体 | 第9-11页 |
| ·同成分铌酸锂晶体的优缺点 | 第9-10页 |
| ·近化学剂量比铌酸锂晶体的优势 | 第10页 |
| ·铌酸锂晶体的应用现状 | 第10-11页 |
| ·掺镁铌酸锂晶体的优越性 | 第11页 |
| ·本论文的工作及意义 | 第11-12页 |
| 第二章 脊波导基本理论 | 第12-23页 |
| ·脊波导的应用 | 第12-13页 |
| ·脊波导的设计数据 | 第13-18页 |
| ·实验认证 | 第18-19页 |
| ·附录 | 第19-23页 |
| ·截止方程 | 第19-20页 |
| ·阻抗方程 | 第20-23页 |
| 第三章 腐蚀铌酸锂晶体的几种常用方法 | 第23-41页 |
| ·聚焦离子束腐蚀法 | 第23-28页 |
| ·简介 | 第23页 |
| ·数据 | 第23-24页 |
| ·实验 | 第24-27页 |
| ·总结 | 第27-28页 |
| ·反应离子腐蚀法 | 第28-31页 |
| ·简介 | 第28页 |
| ·实验 | 第28-30页 |
| ·总结 | 第30-31页 |
| ·湿法化学腐蚀法 | 第31-33页 |
| ·简介 | 第31页 |
| ·制作过程 | 第31-32页 |
| ·实验 | 第32-33页 |
| ·总结 | 第33页 |
| ·激光切除法 | 第33-41页 |
| ·简介 | 第33-34页 |
| ·实验 | 第34-35页 |
| ·结果与讨论 | 第35-40页 |
| ·总结 | 第40-41页 |
| 第四章 钛扩散腐蚀铌酸锂晶体的过程原理 | 第41-46页 |
| ·钛扩散过程 | 第41-43页 |
| ·钛扩散腐蚀铌酸锂晶体的原理 | 第43-46页 |
| 第五章 钛扩散腐蚀铌酸锂晶体的实验及结果分析 | 第46-58页 |
| ·钛扩散腐蚀铌酸锂晶体的实验 | 第46-52页 |
| ·清洗基片 | 第47页 |
| ·光刻 | 第47-48页 |
| ·射频溅射镀钛 | 第48-49页 |
| ·去胶 | 第49-51页 |
| ·拉曼散射实验 | 第51-52页 |
| ·X射线衍射实验 | 第52页 |
| ·数据分析 | 第52-58页 |
| ·腐蚀深度的分析 | 第52-55页 |
| ·拉曼散射实验分析 | 第55-56页 |
| ·X射线衍射实验分析 | 第56-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
