| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 缩写和符号清单 | 第17-21页 |
| 1. 绪论 | 第21-39页 |
| 1.1 集成光电子器件 | 第21-24页 |
| 1.2 硅基集成光电子器件 | 第24-36页 |
| 1.2.1 光源 | 第25-27页 |
| 1.2.2 电光调制器 | 第27-29页 |
| 1.2.3 光电探测器 | 第29-31页 |
| 1.2.4 无源器件 | 第31-34页 |
| 1.2.5 总结 | 第34-36页 |
| 1.3 论文主要内容及创新点 | 第36-39页 |
| 1.3.1 主要内容 | 第36-37页 |
| 1.3.2 创新点 | 第37-39页 |
| 2. 硅基集成光电子器件的光学和热学仿真 | 第39-49页 |
| 2.1 光学仿真 | 第39-46页 |
| 2.1.1 光波导模式理论 | 第39-40页 |
| 2.1.2 光波导模式计算 | 第40-43页 |
| 2.1.3 光场传输计算 | 第43-46页 |
| 2.2 热学仿真 | 第46-48页 |
| 2.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 3. 硅基集成的偏振模式调控器件 | 第49-77页 |
| 3.1 基于级联弯曲非对称定向耦合器的高性能偏振分束器 | 第49-58页 |
| 3.1.1 结构和设计 | 第51-55页 |
| 3.1.2 制作和测试 | 第55-56页 |
| 3.1.3 结果和分析 | 第56-58页 |
| 3.2 基于级联定向耦合器的大带宽偏振分束器 | 第58-66页 |
| 3.2.1 结构和设计 | 第59-63页 |
| 3.2.2 制作和测试 | 第63-64页 |
| 3.2.3 结果和分析 | 第64-66页 |
| 3.3 基于混合表面等离子体波导的偏振分束器 | 第66-70页 |
| 3.4 基于绝热锥形波导和定向耦合器的偏振分束-旋转器 | 第70-76页 |
| 3.4.1 结构和设计 | 第71-74页 |
| 3.4.2 制作测试和结果分析 | 第74-76页 |
| 3.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 4. 硅基集成的多模弯曲波导模场调控器件 | 第77-94页 |
| 4.1 多模弯曲波导的研究现状 | 第77-78页 |
| 4.2 结构和设计 | 第78-86页 |
| 4.3 制作和测试 | 第86-88页 |
| 4.4 结果和分析 | 第88-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 5. 硅基集成的光热型光电探测器件 | 第94-115页 |
| 5.1 中红外光电探测的研究现状 | 第94-95页 |
| 5.2 硅基混合表面等离子体波导 | 第95-96页 |
| 5.3 结构和设计 | 第96-105页 |
| 5.3.1 热传导和温度分析 | 第98-100页 |
| 5.3.2 电阻值计算 | 第100-101页 |
| 5.3.3 响应度计算 | 第101-102页 |
| 5.3.4 二氧化硅厚度和金属厚度的影响 | 第102-105页 |
| 5.4 制作和测试 | 第105-108页 |
| 5.5 结果和分析 | 第108-114页 |
| 5.5.1 响应度 | 第108-109页 |
| 5.5.2 温度稳定性和动态范围 | 第109-111页 |
| 5.5.3 瞬态响应 | 第111-113页 |
| 5.5.4 波长响应 | 第113-114页 |
| 5.6 本章小结 | 第114-115页 |
| 6. 总结与展望 | 第115-118页 |
| 参考文献 | 第118-131页 |
| 作者简介 | 第131-132页 |