利用阴极跳跃排液提高微细电解加工精度的试验研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-23页 |
| ·电解加工技术的原理 | 第13页 |
| ·电解加工技术的研究及其发展 | 第13-17页 |
| ·微细电解加工技术 | 第14页 |
| ·数控电解加工技术 | 第14-15页 |
| ·脉冲电流电解加工技术 | 第15-16页 |
| ·电解复合加工技术 | 第16-17页 |
| ·微细电解加工技术 | 第17-21页 |
| ·电液束微细电解加工 | 第17-18页 |
| ·掩膜微细电解加工 | 第18-19页 |
| ·脉冲电流微细电解加工 | 第19-20页 |
| ·扫描探针微细电解加工 | 第20页 |
| ·EFAB 技术 | 第20-21页 |
| ·本课题来源及主要研究内容 | 第21-23页 |
| ·课题来源以及研究意义 | 第21页 |
| ·本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 阴极周期性跳跃排液的微细电解加工 | 第23-33页 |
| ·电解加工的电化学原理 | 第23页 |
| ·法拉第定律 | 第23-24页 |
| ·阳极极化曲线及其特征 | 第24-25页 |
| ·微细电解加工 | 第25-28页 |
| ·微细电解加工的特点 | 第25-26页 |
| ·影响微细电解加工稳定性的因素分析 | 第26页 |
| ·影响微细电解加工精度的因素分析 | 第26-28页 |
| ·阴极周期性跳跃排液的微细电解加工 | 第28-32页 |
| ·电解液更新与电解产物输运方式 | 第28页 |
| ·阴极周期性跳跃式加工 | 第28-29页 |
| ·阴极周期跳跃式微细电解加工的排液原理 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 阴极周期性跳跃排液的微细电解加工装置 | 第33-44页 |
| ·阴极周期性跳跃排液的微细电解加工装置 | 第33-35页 |
| ·加工试验系统的控制部分 | 第35-39页 |
| ·加工试验系统的硬件构成 | 第35-36页 |
| ·加工试验的运动控制 | 第36-39页 |
| ·电解液循环系统 | 第39-42页 |
| ·电解液循环系统的设计 | 第40-42页 |
| ·电解液的选择 | 第42页 |
| ·电源系统 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 加工试验与分析 | 第44-66页 |
| ·微细工具电极的制作 | 第44-54页 |
| ·微细圆柱形电极的制备 | 第45-48页 |
| ·微细圆柱电极的制备原理 | 第45-47页 |
| ·加工参数的控制 | 第47-48页 |
| ·微细倒锥形电极的制备 | 第48-51页 |
| ·微细倒锥形电极的制备原理 | 第50-51页 |
| ·工具电极的侧壁绝缘 | 第51-54页 |
| ·绝缘前的基体处理 | 第52-53页 |
| ·真空气相沉积法绝缘 | 第53-54页 |
| ·微孔电解加工试验与分析 | 第54-65页 |
| ·不同电极形状以及加工电源对侧面加工间隙的影响 | 第55-57页 |
| ·阴极跳跃加速度对侧面加工间隙的影响 | 第57-59页 |
| ·阴极跳跃高度对侧面加工间隙的影响 | 第59-61页 |
| ·深微孔加工试验 | 第61-63页 |
| ·高温合金材料的加工试验 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 总结与展望 | 第66-68页 |
| ·论文研究工作总结 | 第66页 |
| ·对未来工作的展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第73页 |
