| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 课题背景和选题意义 | 第7-8页 |
| 1.2 文献综述 | 第8-13页 |
| 1.3 论文研究内容 | 第13-15页 |
| 第2章 实验仪器和方法 | 第15-28页 |
| 2.1 样品制备方法 | 第15-18页 |
| 2.2 样品表征方法 | 第18-26页 |
| 2.3 输运性质测量 | 第26-28页 |
| 第3章 单层MoS_ 2 FET的制备 | 第28-42页 |
| 3.1 单层MoS2的表征 | 第28-30页 |
| 3.2 光刻 | 第30-36页 |
| 3.3 磁控溅射镀电极 | 第36-37页 |
| 3.4 FET输运性质测量 | 第37-41页 |
| 3.5 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 空气环境对单层MoS_ 2 FET性能的影响 | 第42-55页 |
| 4.1 空气中氮气和氧气对MoS_ 2 FET性能的影响 | 第42-44页 |
| 4.2 氧气影响MoS_ 2 FET性能的机理 | 第44-46页 |
| 4.3 水蒸气对MoS_ 2 FET性能的影响 | 第46-49页 |
| 4.4 光照对脱附的影响 | 第49-53页 |
| 4.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第5章 总结与展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-60页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第60页 |